特許
J-GLOBAL ID：200903088908787250

薄膜部材及びこれを用いた放射検出装置

発明者：
石津谷 徹

石津谷 徹 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 四宮 通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-344125
公開番号（公開出願番号）：特開2002-148120
出願日： 2000年11月10日
公開日（公表日）： 2002年05月22日
要約：
【要約】【課題】 所望の機械的強度を確保しつつ膜厚を薄くすることができる薄膜部材を用いることによって、感度等の特性の向上を図る。【解決手段】 膨張係数の異なる2つの膜4,5からなる変位部3は、脚部2を介して基板1に支持される。変位部3は赤外線吸収部を兼ねる。反射板6が、変位部3の先端部に対して固定される。変位部3が赤外線iを受けると熱を発生して撓み、反射板6による読み出し光jの反射方向が変化する。反射板6は、平板状部を有する薄膜部材で構成される。この平板状部は、1層の膜からなる平面部8と、平面部8に混在するように形成され平面部8の下面側に突出した凸条部9とを有する。平面部8が凸条部9により補強される。
請求項（抜粋）：
空中に位置するように支持された平板状部を備えた薄膜部材であって、前記平板状部は、1層又は複数層の膜からなる平面部と、該平面部に混在するように形成され前記平面部の表面側又は裏面側に突出した凸条部とを有することを特徴とする薄膜部材。
IPC (5件)：
G01J 5/40 ,  G01J 1/02 ,  G01J 5/34 ,  G01J 5/48 ,  H01L 27/14
FI (7件)：
G01J 5/40 ,  G01J 1/02 G ,  G01J 1/02 C ,  G01J 5/34 ,  G01J 5/48 F ,  H01L 27/14 Z ,  H01L 27/14 K
Fターム (19件)：
2G065AB02 ,  2G065AB04 ,  2G065AB05 ,  2G065AB28 ,  2G065BA05 ,  2G065BA32 ,  2G065BA34 ,  2G065BB11 ,  2G065DA18 ,  2G066BA20 ,  2G066BA25 ,  2G066CA02 ,  4M118AA08 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118CA40 ,  4M118GA03 ,  4M118GA10
引用特許：
審査官引用 (6件)
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