特許
J-GLOBAL ID：200903088985756171

光スキャナ装置

発明者：
浅田 規裕

浅田 規裕 について


出願人/特許権者：
株式会社メムステクノロジー

株式会社メムステクノロジー について


代理人 (2件)： 丹羽 宏之 ,  野口 忠夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-319289
公開番号（公開出願番号）：特開2005-084571
出願日： 2003年09月11日
公開日（公表日）： 2005年03月31日
要約：
【課題】 小型化が容易で、耐久性があり、大振幅が可能な光スキャナ装置を提供する。【解決手段】 固定部2の内側に平板状の可動部4をねじり梁3で支持した一体構造の構造体を単結晶シリコンで構成し、前記可動部4にミラーを設けた光スキャナ装置において、前記平板状の可動部4に、可動部の厚さ方向に磁化した硬磁性体6を設け、この硬磁性体6に対向してU字型コア付き電磁石20を配置する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
固定部の内側に平板状の可動部をねじり梁で支持した一体構造の構造体を単結晶シリコンで構成し、前記可動部にミラーを設けた光スキャナ装置であって、 前記平板状の可動部に設けた、可動部の厚さ方向に磁化した硬磁性体と、 前記硬磁性体に対向して配置したU字型コア付き電磁石と、 を備えたことを特徴とする光スキャナ装置。
IPC (2件)：
G02B26/10 ,  B81B3/00
FI (2件)：
G02B26/10 104Z ,  B81B3/00
Fターム (3件)：
2H045AB03 ,  2H045AB16 ,  2H045AB72
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (4件)
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