特許

J-GLOBAL ID：200903089000827351

ホットプレートユニット

発明者： 古川 正和 ,  伊藤 康隆 ,  斉藤 譲
出願人/特許権者： イビデン株式会社
代理人 (1件)： 恩田 博宣 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-033429
公開番号（公開出願番号）：特開2000-299281
出願日： 2000年02月10日
公開日（公表日）： 2000年10月24日
要約：

【要約】【課題】 構造の複雑化や大型化を伴うことなく、短時間で冷却しうるホットプレートユニットを提供すること。【解決手段】 このホットプレートユニット1は、ケーシング2の開口部4に、抵抗体10を有するホットプレート3を設置してなる。ケーシング2とホットプレート3とにより、流体を流通可能な空間S1が構成されている。

請求項（抜粋）：

ケーシングの開口部に、抵抗体を有するホットプレートを設置してなるホットプレートユニットであって、流体を流通可能な空間が前記ケーシングと前記ホットプレートとにより構成されていることを特徴とするホットプレートユニット。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  H05B 3/68

FI (2件)：

H01L 21/30 567 ,  H05B 3/68

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 半導体製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-300971   出願人：ソニー株式会社
• 静電チャック付セラミックスヒーター
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-316374   出願人：信越化学工業株式会社, 東京エレクトロン株式会社
• 加熱装置及びその製造方法、並びに処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-276278   出願人：東京エレクトロン株式会社, 信越化学工業株式会社
• 特開昭62-169330