特許
J-GLOBAL ID:200903089187488512
鏡面母材及びそれを用いた鏡体及び、鏡体を用いた光学装置
発明者:
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出願人/特許権者:
,
代理人 (4件):
宮崎 昭夫
, 金田 暢之
, 伊藤 克博
, 石橋 政幸
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-109031
公開番号(公開出願番号):特開2004-317647
出願日: 2003年04月14日
公開日(公表日): 2004年11月11日
要約:
【課題】鏡面母材としての焼結体は、剛性・強度は高いが、表面の平滑度が低く、更に金属との密着強打が低い。一方、化学気相成長炭化珪素は表面の平滑度は高いが、大口径化には向かないという欠点がある。【解決手段】本発明は、炭化珪素を分散粒子とする粒子分散シリコン材料を鏡体母材とし、概鏡体母材を鏡面研磨した鏡体に反射膜を形成した鏡面を用いることで、大口径の光学系を形成するものである。【選択図】 図8
請求項(抜粋):
炭化珪素とシリコンとからなる粒子分散シリコン材料を母材とし、該母材の反射面となる面が鏡面に研磨されていることを特徴とする鏡面母材。
IPC (4件):
G02B5/08
, C04B35/565
, G02B5/10
, G02B23/02
FI (4件):
G02B5/08 A
, G02B5/10 C
, G02B23/02
, C04B35/56 101H
Fターム (41件):
2H039AA02
, 2H039AB22
, 2H039AC00
, 2H042DA00
, 2H042DA02
, 2H042DA04
, 2H042DA05
, 2H042DA08
, 2H042DA12
, 2H042DB02
, 2H042DC02
, 2H042DC09
, 2H042DD05
, 2H042DE00
, 2H042DE03
, 2H042DE04
, 2H042DE07
, 2H042DE09
, 4G001BA22
, 4G001BA60
, 4G001BA62
, 4G001BA71
, 4G001BB22
, 4G001BB62
, 4G001BB71
, 4G001BC13
, 4G001BC25
, 4G001BC34
, 4G001BC35
, 4G001BC47
, 4G001BC52
, 4G001BC54
, 4G001BC72
, 4G001BC73
, 4G001BD03
, 4G001BD12
, 4G001BD14
, 4G001BD31
, 4G001BE13
, 4G001BE31
, 4G001BE35
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (7件)
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