特許
J-GLOBAL ID：200903089226997411

固体撮像装置の製造方法及び固体撮像装置

発明者：
佐藤 淳一

佐藤 淳一 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (1件)： 尾川 秀昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-329812
公開番号（公開出願番号）：特開平9-148554
出願日： 1995年11月24日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：
【要約】【課題】 セルフリフロー平坦化膜による感度の低下を防止し、延いてはこれを上回る感度を有する固体撮像装置を得る。【解決手段】 基板100上に形成した例えば平坦化膜106を、化学的機械研磨をして前記基板の略水平方向に平坦化するに当たり、前記基板上に形成された遮光膜104上に研磨抑止膜108を形成し、或いは前記遮光膜そのものを研磨抑止層として利用して化学的機械研磨を実行。
請求項（抜粋）：
基板上に形成した少なくとも1層以上の薄膜を化学的機械研磨をして前記基板の略水平方向に平坦化する固体撮像装置の製造方法に於て、前記基板上に形成された遮光膜上に前記化学的機械研磨の為の研磨抑止層を形成する工程が含まれることを特徴とする固体撮像装置の製造方法。
IPC (6件)：
H01L 27/148 ,  H01L 21/304 321 ,  H01L 21/304 ,  H01L 21/316 ,  H01L 21/318 ,  H01L 27/14
FI (6件)：
H01L 27/14 B ,  H01L 21/304 321 M ,  H01L 21/304 321 S ,  H01L 21/316 X ,  H01L 21/318 C ,  H01L 27/14 D
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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