特許
J-GLOBAL ID：200903089235548727

試料解析方法、及び試料解析装置

発明者：
ナバトバ-ガバイン,ナタリア

ナバトバ-ガバイン,ナタリア について

, 
和才 容子

和才 容子 について


出願人/特許権者：
株式会社堀場製作所

株式会社堀場製作所 について


代理人 (2件)： 河野 登夫 ,  河野 英仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-344457
公開番号（公開出願番号）：特開2007-147517
出願日： 2005年11月29日
公開日（公表日）： 2007年06月14日
要約：
【課題】有機EL素子のガラス基板へ光を照射して、有機膜の特性を解析する。【解決手段】試料解析装置1は、ガラス基板51が上側となるようにステージ4に有機EL素子50を載置し、ガラス基板51へ向けて光を照射して有機EL素子50に係る振幅比及び位相差を測定する。また、試料解析装置1は、照射した光の反射光K1〜K3に応じた構造のモデルを選択し、選択したモデルから振幅比及び位相差を有機EL素子50の空間60の厚み寸法に応じて第1演算処理又は第2演算処理で求める。試料解析装置1は測定した結果及びモデルから演算により求めた結果を比較してフィッティングを適宜行うことで、いくつかのモデルの中からベストモデルを決定し、有機EL素子50に係る特性を解析する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
透光性基板に積層した複数の膜をカバー部材で間隔を隔てて覆った試料の光学特性を、偏光された光を照射する測定器で測定し、試料に応じたモデル及び前記測定器の測定結果に基づいて試料の各膜層の特性を解析する試料解析方法であって、 試料の透光性基板へ偏光した光を照射するステップと、 試料で反射した光を取得するステップと、 取得した光の偏光状態を測定するステップと を備えることを特徴とする試料解析方法。
IPC (4件)：
G01N 21/21 ,  G01N 21/27 ,  G01J 4/04 ,  G01B 11/06
FI (4件)：
G01N21/21 Z ,  G01N21/27 B ,  G01J4/04 Z ,  G01B11/06 Z
Fターム (39件)：
2F065AA30 ,  2F065BB17 ,  2F065CC00 ,  2F065CC31 ,  2F065FF41 ,  2F065FF49 ,  2F065GG03 ,  2F065GG24 ,  2F065HH08 ,  2F065HH18 ,  2F065JJ17 ,  2F065JJ18 ,  2F065LL02 ,  2F065LL33 ,  2F065LL34 ,  2F065LL42 ,  2F065LL67 ,  2F065MM15 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ18 ,  2G059AA02 ,  2G059BB15 ,  2G059DD13 ,  2G059EE02 ,  2G059EE05 ,  2G059EE12 ,  2G059GG10 ,  2G059JJ05 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ19 ,  2G059KK02 ,  2G059KK04 ,  2G059MM01 ,  2G059MM05 ,  2G059MM09 ,  2G059MM10 ,  2G059PP04
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (3件)
引用文献：
審査官引用 (1件)

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