特許
J-GLOBAL ID：200903089261267523

ZnO蒸着材及びZnO膜並びにそれらの製造方法

発明者：
黛 良享

黛 良享 について


出願人/特許権者：
三菱マテリアル株式会社

三菱マテリアル株式会社 について


代理人 (1件)： 須田 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-162553
公開番号（公開出願番号）：特開2008-025026
出願日： 2007年06月20日
公開日（公表日）： 2008年02月07日
要約：
【課題】蒸発速度、成膜速度を向上して製造コストを低減する。【解決手段】ZnO蒸着材は、ZnOの多孔質焼結体からなり、その焼結体が0.1〜500μmの範囲の平均気孔径を有する。その多孔質焼結体は3〜50%の範囲の気孔率を有することが好ましく、1〜500μmの範囲の平均結晶粒径を有する粒子の焼結体であることが更に好ましい。その製造方法は、純度が99.0%以上あって平均粒径が0.1〜10μmであるZnO粉末とバインダと有機溶媒とを混合してZnO粉末の濃度が45〜75重量%のスラリーを調製する工程と、そのスラリーに気体を吹込んで混入することによりガス含有スラリーを得る工程と、そのガス含有スラリーを噴霧乾燥して平均粒径が50〜300μmの造粒粉末を得る工程と、その造粒粉末を成形して成形体を得る工程と、その成形体を所定の温度で焼結してZnO多孔質焼結体を得る工程とを有する。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
ZnOの多孔質焼結体からなり、前記焼結体が3〜50%の範囲の気孔率を有するZnO蒸着材。
IPC (5件)：
C23C 14/24 ,  C04B 35/453 ,  C04B 38/02 ,  C04B 38/06 ,  C04B 38/08
FI (7件)：
C23C14/24 E ,  C04B35/00 P ,  C04B38/02 K ,  C04B38/02 M ,  C04B38/06 D ,  C04B38/06 G ,  C04B38/08 D
Fターム (24件)：
4G019JA01 ,  4G019JA05 ,  4G019LB01 ,  4G019LD02 ,  4G030AA32 ,  4G030AA67 ,  4G030BA02 ,  4G030BA15 ,  4G030CA04 ,  4G030CA09 ,  4G030GA05 ,  4G030GA11 ,  4G030GA14 ,  4G030GA17 ,  4G030GA18 ,  4G030GA22 ,  4G030GA25 ,  4G030GA27 ,  4K029BA49 ,  4K029BC09 ,  4K029CA02 ,  4K029DB05 ,  4K029DB08 ,  4K029DB21
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (7件)
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