特許

J-GLOBAL ID：200903089276176176

形状測定装置および形状測定方法

発明者： 保坂 光太郎 ,  飯野 正行
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-170265
公開番号（公開出願番号）：特開2006-343249
出願日： 2005年06月10日
公開日（公表日）： 2006年12月21日
要約：

【課題】被測定面をトレースするプローブによる三次元形状の測定を高精度で行う。【解決手段】プローブ先端球109を有するプローブ軸106の上端にターゲットミラー114を固定し、レーザ測長によって本体架台101に固定された第一の基準ミラー102とターゲットミラー114の離間距離を検出してワークWの表面形状データを得る。ワークWに対するプローブ先端球109の押圧力を一定に保つために、プローブ軸106を保持するZ軸アーム103上の第二の基準ミラー111とターゲットミラー114の離間距離を検出するレーザ測長系によって、Z軸ステージ104を制御し、板バネ107、108の歪を調整する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

移動体に保持されたプローブによって被測定面を走査し、架台に固定された第一の基準ミラーと前記プローブとの離間距離を、第一のレーザ測長器によって検出し、前記第一のレーザ測長器の検出データから前記被測定面の形状を算出する形状検出系と、前記移動体に一体に取り付けられた第二の基準ミラーと前記プローブとの相対位置を、第二のレーザ測長器によって検出し、前記移動体の位置を制御するためのプローブ位置検出系と、を有することを特徴とする形状測定装置。

IPC (2件)：

G01B 21/20 ,  G01B 11/00

FI (2件)：

G01B21/20 C ,  G01B11/00 B

Fターム (25件)：

2F065AA03 ,  2F065AA06 ,  2F065AA20 ,  2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065FF55 ,  2F065FF68 ,  2F065GG04 ,  2F065HH08 ,  2F065LL12 ,  2F065LL17 ,  2F065LL36 ,  2F065PP12 ,  2F069AA66 ,  2F069DD12 ,  2F069GG01 ,  2F069GG07 ,  2F069GG11 ,  2F069GG52 ,  2F069GG62 ,  2F069HH01 ,  2F069JJ04 ,  2F069LL02 ,  2F069LL06 ,  2F069MM04

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 三次元測定用プローブ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-053382   出願人：松下電器産業株式会社
• 形状測定用プローブ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-107578   出願人：株式会社リコー

審査官引用 (1件)

• 形状測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-133908   出願人：株式会社リコー