特許
J-GLOBAL ID：200903089299729938
マイクロマシンの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-151865
公開番号（公開出願番号）：特開2000-343463
出願日： 1999年05月31日
公開日（公表日）： 2000年12月12日
要約：
【要約】【課題】球体とそれを囲む球殻部を有する球体型マイクロマシンの製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】本発明のマイクロマシンの製造方法は、球体を覆うように犠牲膜を形成することと、上記犠牲膜の上に導電体パターンを形成することと、上記導電体パターンを覆うように絶縁体膜を形成することと、上記絶縁体膜に孔を形成して上記導電体パターンを露出させることと、上記絶縁体膜より露出した上記導電体パターンに接続するように上記絶縁体膜上に配線パターンを形成することと、上記配線パターンが形成された球体を覆うように絶縁体の構造膜を形成することと、上記構造膜の外面から上記犠牲膜に達する複数のエッチング孔を形成することと、上記エッチング孔より気相エッチングによって上記犠牲膜を除去することと、を含む。
請求項（抜粋）：
球体を覆うように犠牲膜を形成することと、上記犠牲膜の上に少なくとも1個の導電体パターン又は絶縁体を含む機能膜を形成することと、上記機能膜が形成された球体を覆うように絶縁体の構造膜を形成することと、上記構造膜の外面から上記犠牲膜に達するエッチング孔を形成することと、上記エッチング孔より気体エッチング剤を導入することによって上記犠牲膜を除去することと、を含む球体とそれを囲む球殻部からなるマイクロマシンの製造方法。
IPC (5件)：
B25J 7/00
, B62D 57/00
, G01P 15/125
, G01P 15/13
, G01C 19/06
B25J 7/00
, G01P 15/125
, G01P 15/13
, G01C 19/06
, B62D 57/00 K
