角速度センサ及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：岩橋文雄 , 坂口智康 , 内藤浩樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-195189
公開番号（公開出願番号）：特開2006-017569
出願日： 2004年07月01日
公開日（公表日）： 2006年01月19日
要約：

【課題】本発明は、X軸方向への音叉振動時におけるZ軸方向への角速度センサとしての不要信号の発生を抑制できる薄型で、かつ、都度個別調整が不要な角速度センサおよびその製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】検出部を構成する上部電極8c,9cの中心線8d,9dが、音叉型振動子のアーム1a,1bの主面3a,3bの中心線10,11から主面3a,3bにそれぞれ隣接して設けられた側面3c,3e側に向かって、それぞれΔWだけシフトした構成である。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

少なくとも2つのアームとこのアームを連結する少なくとも1つの基部からなる音叉型振動子と、前記アームをX軸方向に駆動するために前記アームの少なくとも1つの主面上に設けられた駆動部と、Y軸周りに印加された角速度に起因する前記アームのZ軸方向への振動を検出するために前記アームの少なくとも1つの主面上に設けられた検出部とを備え、この検出部は前記主面上に設けられた下部電極とこの下部電極上に設けられた圧電膜とこの圧電膜上に設けられた上部電極とからなり、前記検出部が設けられた主面とこの主面に隣接して設けられた傾斜した側面との交わる角度が鋭角である場合は、前記検出部の内の少なくとも前記上部電極の中心線が前記主面上において前記主面の中心線から前記傾斜した側面と反対側に向かってシフトした角速度センサ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

FI (2件)：

G01C19/56 , G01P9/04

Fターム (6件)：

2F105BB03 , 2F105BB04 , 2F105BB11 , 2F105CC01 , 2F105CD02 , 2F105CD06

引用特許：

出願人引用 (6件)

屈曲振動圧電振動子及びその調整方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-305945 出願人：キンセキ株式会社
圧電ジャイロセンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-117319 出願人：セイコーエプソン株式会社
特開平3-150914

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審査官引用 (5件)

圧電ジャイロセンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-117319 出願人：セイコーエプソン株式会社
特開平3-150914
特開昭60-073414

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