特許
J-GLOBAL ID：200903093859683308
圧電ジャイロセンサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-117319
公開番号（公開出願番号）：特開平10-153433
出願日： 1997年05月07日
公開日（公表日）： 1998年06月09日
要約：
【要約】【課題】圧電振動子を角速度センサとして使用する圧電ジャイロセンサにおいて、駆動側及び検出側相互の電気的特性に優れており、また、従来の製造工程により製造可能な安価で小型の圧電ジャイロセンサを提供する。【解決手段】一対の駆動片と一対の検出片を有し、駆動片と検出片を同一平面で結合する結合部とを有し、更に駆動片、検出片及び結合部を支持する支持部を有している圧電振動子を角速度センサとして使用する圧電ジャイロセンサ。
請求項（抜粋）：
圧電振動子を角速度センサとして使用する圧電ジャイロセンサにおいて、前記圧電ジャイロセンサは、一対の駆動片と一対の検出片とを有し、一対の前記駆動片と一対の前記検出片とを同一平面で結合する結合部を有し、一対の前記駆動片と一対の前記検出片、及び前記結合部を支持する支持部を有することを特徴とする圧電ジャイロセンサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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