特許

J-GLOBAL ID：200903089443612560

金属エッチングプロセスに用いる混酸液の定量分析方法

発明者： 鈴木 竜暢 ,  小沢 修一
出願人/特許権者： 日本化成株式会社 ,  三菱化学株式会社
代理人 (1件)： 岡田 数彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-104783
公開番号（公開出願番号）：特開2002-303619
出願日： 2001年04月03日
公開日（公表日）： 2002年10月18日
要約：

【要約】【課題】硝酸とリン酸と酢酸とから成る混酸液や更に界面活性剤などの添加剤を含む混酸液に対する、効率的で且つ精度の高い定量分析方法を提供する。【解決手段】硝酸とリン酸と酢酸とを含む金属エッチングプロセスに用いる混酸液の定量分析方法であって、硝酸の濃度は紫外吸光光度法によって定量し、リン酸の濃度は混酸液のドライアップ後の中和滴定法によって定量し、酢酸の濃度は合計酸当量からの硝酸当量とリン酸当量の差し引き法によって算出する。

請求項（抜粋）：

硝酸とリン酸と酢酸とを含む金属エッチングプロセスに用いる混酸液の定量分析方法であって、硝酸の濃度は紫外吸光光度法によって定量し、リン酸の濃度は混酸液のドライアップ後の中和滴定法によって定量し、酢酸の濃度は合計酸当量からの硝酸当量とリン酸当量の差し引き法によって算出することを特徴とする金属エッチングプロセスに用いる混酸液の定量分析方法。

IPC (4件)：

G01N 33/00 ,  G01N 21/33 ,  G01N 31/00 ,  G01N 31/16

FI (5件)：

G01N 33/00 B ,  G01N 21/33 ,  G01N 31/00 N ,  G01N 31/00 V ,  G01N 31/16 Z

Fターム (14件)：

2G042AA01 ,  2G042BB16 ,  2G042BD10 ,  2G042CA10 ,  2G042CB03 ,  2G042DA02 ,  2G042EA05 ,  2G042FA02 ,  2G042FB02 ,  2G059AA01 ,  2G059CC01 ,  2G059EE01 ,  2G059HH03 ,  2G059MM12

引用特許：

審査官引用 (3件)

• エッチングプロセスにおける混酸液の定量分析方法、定量分析装置およびエッチング制御方法ならびに上記の混酸液の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-222888   出願人：日本化成株式会社, 三菱化学株式会社
• 混酸の濃度測定方法および濃度測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-050574   出願人：倉敷紡績株式会社
• エッチング装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-254901   出願人：キヤノン株式会社

引用文献：

審査官引用 (3件)

• Anal Chim Acta, 2008, Vol.629, No.1-2, Page.119-127
• Sensors and Actuators B, 2000, Vol.B65, No.1/3, Page.220-226
• J Chromatgr A, 2003, Vol.997, No.1.2, Page.269-278