特許
J-GLOBAL ID：200903089458136447

ポジ型感光性樹脂組成物

発明者：
佐々木 隆弘

佐々木 隆弘 について


出願人/特許権者：
旭化成エレクトロニクス株式会社

旭化成エレクトロニクス株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-009224
公開番号（公開出願番号）：特開2007-192936
出願日： 2006年01月17日
公開日（公表日）： 2007年08月02日
要約：
【課題】感度、解像度にすぐれるばかりでなく、低い熱処理温度でも、良好な機械物性を有する、ポジ型感光性樹脂組成物の提供。【解決手段】2組の互いにオルト位にあるアミノ基およびフェノール性水酸基を有する1または2以上の芳香族ジアミンと、テトラカルボン酸、およびジカルボン酸からなる群から選択される1または2以上の多価カルボン酸とが脱水縮合した構造を有する重縮合物100質量部、オキサゾリン化合物0.1〜100質量部、ならびに感光性ジアゾキノン化合物1〜100質量部を含むことを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
2組の互いにオルト位にあるアミノ基およびフェノール性水酸基を有する1または2以上の芳香族ジアミンと、テトラカルボン酸、およびジカルボン酸からなる群から選択される1または2以上の多価カルボン酸とが脱水縮合した構造を有する重縮合物100質量部、オキサゾリン化合物0.1〜100質量部、ならびに感光性ジアゾキノン化合物1〜100質量部を含むことを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/004 ,  G03F 7/023 ,  C08G 73/22 ,  C08G 69/26 ,  H01L 21/027
FI (5件)：
G03F7/004 501 ,  G03F7/023 ,  C08G73/22 ,  C08G69/26 ,  H01L21/30 502R
Fターム (109件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA10 ,  2H025AA13 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB25 ,  2H025CB26 ,  2H025CB45 ,  2H025CB55 ,  2H025CC17 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J001DA01 ,  4J001DA10 ,  4J001DB01 ,  4J001DB04 ,  4J001DB05 ,  4J001DC07 ,  4J001DC15 ,  4J001DC16 ,  4J001EB03 ,  4J001EB04 ,  4J001EB05 ,  4J001EB06 ,  4J001EB07 ,  4J001EB08 ,  4J001EB09 ,  4J001EB14 ,  4J001EB35 ,  4J001EB36 ,  4J001EB37 ,  4J001EB56 ,  4J001EB57 ,  4J001EB58 ,  4J001EB59 ,  4J001EB60 ,  4J001EB69 ,  4J001EC03 ,  4J001EC04 ,  4J001EC05 ,  4J001EC06 ,  4J001EC07 ,  4J001EC08 ,  4J001EC14 ,  4J001EC23 ,  4J001EC38 ,  4J001EC45 ,  4J001EC46 ,  4J001EC54 ,  4J001EC66 ,  4J001EC67 ,  4J001EC68 ,  4J001EC69 ,  4J001EC70 ,  4J001EC74 ,  4J001EC75 ,  4J001ED34 ,  4J001ED46 ,  4J001ED47 ,  4J001ED48 ,  4J001ED49 ,  4J001ED50 ,  4J001FB06 ,  4J001FC03 ,  4J001FD01 ,  4J001JA20 ,  4J001JB31 ,  4J043PA02 ,  4J043PA04 ,  4J043PA08 ,  4J043QB26 ,  4J043QB34 ,  4J043RA05 ,  4J043RA06 ,  4J043RA35 ,  4J043RA52 ,  4J043SA06 ,  4J043SA71 ,  4J043SB01 ,  4J043SB03 ,  4J043TA12 ,  4J043TA13 ,  4J043TA14 ,  4J043TA22 ,  4J043TB01 ,  4J043UA082 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA141 ,  4J043UA151 ,  4J043UA361 ,  4J043UA761 ,  4J043UA762 ,  4J043UB011 ,  4J043UB021 ,  4J043UB061 ,  4J043UB151 ,  4J043UB281 ,  4J043UB301 ,  4J043UB381 ,  4J043UB401 ,  4J043ZA60 ,  4J043ZB22
引用特許：
出願人引用 (8件)
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