特許
J-GLOBAL ID：200903089507543940
光起電力デバイス用基板
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
池内 寛幸 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-297608
公開番号（公開出願番号）：特開2001-119046
出願日： 1999年10月20日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
要約：
【要約】【課題】 酸化亜鉛を主成分とする保護膜と透明導電膜との密着性が十分でないと、太陽電池の特性低下の原因となる。【解決手段】 ガラス板5上に形成した酸化錫を主成分とする透明導電膜3上に、耐プラズマ性に優れた酸化亜鉛膜4を形成する。酸化亜鉛膜4は、被膜形成原料の熱分解を伴う方法により成膜する。この酸化亜鉛膜4は(101)面配向性を示し、例えば、スパッタリング法で成膜された(002)面配向を示す酸化亜鉛膜よりも、透明導電膜との密着性に優れている。
請求項（抜粋）：
ガラス板と、前記ガラス板上に形成された透明導電膜と、前記透明導電膜上に形成された酸化亜鉛を主成分とする膜とを含み、前記酸化亜鉛を主成分とする膜が、X線回折分析により、酸化亜鉛結晶について(101)面配向を示すことを特徴とする光起電力デバイス用基板。
Fターム (5件)：
5F051FA02
, 5F051FA30
, 5F051GA03
, 5F051GA06
, 5F051GA20
