特許
J-GLOBAL ID：200903089528342198
バンプ形成方法及びバンプ形成装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-314161
公開番号（公開出願番号）：特開平9-153496
出願日： 1995年12月01日
公開日（公表日）： 1997年06月10日
要約：
【要約】【課題】 安価でしかも広範な用途に対応できるバンプ形成方法を提供することを目的とする。【解決手段】 電極9の上方に位置する吸引ツール16の下端部にボール12を吸着させるステップと、吸引ツール16を下降させてボール12を電極9に押しつけ、電極9に接合するバンプ24を形成するステップと、吸引ツール16を上昇させてバンプ24から吸引ツール16を離すステップとを含み、吸引ツール16の吸引力f2は、ボール12の自重f1よりも大きく、かつバンプ24と電極9との接合力f3よりも小さい値に設定されている。
請求項（抜粋）：
電極の上方に位置する吸引ツールの下端部にボールを吸着させるステップと、前記吸引ツールを下降させてボールを電極に押しつけ、電極に接合するバンプを形成するステップと、前記吸引ツールを上昇させてバンプから前記吸引ツールを離すステップとを含み、前記吸引ツールの吸引力は、ボールの自重よりも大きく、かつバンプと電極との接合力よりも小さい値に設定されていることを特徴とするバンプ形成方法。
IPC (2件)：
H01L 21/321
, H01L 21/607
H01L 21/92 604 H
, H01L 21/607 B
, H01L 21/92 604 Z
