特許

J-GLOBAL ID：200903089725993893

ロール・ツー・ロール成膜装置及びその成膜方法

発明者： 吉野 豪人 ,  吉田 耕平 ,  田中 雅敏 ,  大利 博和 ,  越前 裕 ,  保野 篤司 ,  金井 正博
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 長尾 達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-242464
公開番号（公開出願番号）：特開平9-067677
出願日： 1995年08月28日
公開日（公表日）： 1997年03月11日
要約：

【要約】【課題】本発明は、基体以外の場所に堆積した粉体および膜の清掃に時間を要することなく、メインテンス性および装置の稼動率を向上させたロール・ツー・ロール成膜装置およびその方法を提供することを目的とするものである。【解決手段】本発明は上記目的を達成するために、 成膜チャンバーをその内部に有すると同時にガスゲートを介して連結された複数の真空チャンバーで構成され、帯状基体を成膜チャンバーの側壁の1つとするようにし前記連結された複数の真空チャンバーの長手方向に移動させながら前記帯状基体上に連続的に成膜するロール・ツー・ロール成膜装置又は方法において、前記成膜チャンバーが前記真空チャンバーの外へ引き出され該真空チャンバーに対して取り外し可能に構成されていることを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

成膜チャンバーをその内部に有すると同時にガスゲートを介して連結された複数の真空チャンバーで構成され、帯状基体を成膜チャンバーの側壁の1つとするようにし前記連結された複数の真空チャンバーの長手方向に移動させながら前記帯状基体上に連続的に成膜するロール・ツー・ロール成膜装置において、前記成膜チャンバーが前記真空チャンバーの外へ引き出され該真空チャンバーに対して取り外し可能に構成されていることを特徴とするロール・ツー・ロール成膜装置。

IPC (3件)：

C23C 16/50 ,  G03G 5/082 ,  H01L 21/205

FI (3件)：

C23C 16/50 ,  G03G 5/082 ,  H01L 21/205

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開平3-030419
  
• 薄膜光電変換素子の製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-081505   出願人：株式会社富士電機総合研究所
• マグネトロンスパッタ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-154267   出願人：株式会社富士電機総合研究所
• 真空蒸着装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-237206   出願人：石川島播磨重工業株式会社