特許
J-GLOBAL ID：200903089754134506

アミノプラスト重合物を含む改良された反射防止コーティング組成物

発明者：
プリガッダ ラーマ

プリガッダ ラーマ について

, 
フワン ランフイ

フワン ランフイ について


出願人/特許権者：
ブルーワー サイエンス アイ エヌ シー.

ブルーワー サイエンス アイ エヌ シー. について


代理人 (1件)： 渡辺 望稔 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-578095
公開番号（公開出願番号）：特表2003-531252
出願日： 2000年09月06日
公開日（公表日）： 2003年10月21日
要約：
【要約】集積回路の製造工程に使用するための改良された反射防止コーティング組成物および該組成物の調製方法を提供する。広くは、該組成物は、重合により平均分子量が少なくとも約1,000ダルトンのポリマーを形成するような特定の化合物(たとえばアルコキシアルキルメラミン、アルコキシアルキルベンゾグアナミン)を酸性条件下に含む構成成分からなる溶液を加熱することによって形成される。上記で得られるポリマーのモノマー単位は、各モノマー単位中の窒素原子に結合した架橋基(たとえば -CH2-、 -CH2-O- CH2-)を介して互いに連結される。重合した化合物は、溶媒と混合して基板表面に塗布し、その後焼成して反射防止膜層を形成する。得られる層は、k値が高く、コンフォーマルおよび平坦のいずれのコーティング膜も形成することができる。
請求項（抜粋）：
下記工程を含む、反射防止コーティング剤の形成に有用なポリマー組成物の調製方法: 式Iで示される化合物を分散媒中に所定量含有する分散液を準備する工程、 前記分散液に、該分散液のリットル当り、約0.001-1モルの酸を添加する工程、および 前記分散液を約70°C以上の温度で少なくとも約2時間加熱して、前記ポリマー組成物をもたらす工程。
IPC (8件)：
C09D179/06 ,  B05D 1/40 ,  B05D 7/24 302 ,  C09D 5/32 ,  C09D101/00 ,  C09D133/02 ,  C09D167/00 ,  G02B 1/11
FI (8件)：
C09D179/06 ,  B05D 1/40 A ,  B05D 7/24 302 S ,  C09D 5/32 ,  C09D101/00 ,  C09D133/02 ,  C09D167/00 ,  G02B 1/10 A
Fターム (27件)：
2K009AA02 ,  2K009CC38 ,  2K009DD02 ,  4D075AC64 ,  4D075AC92 ,  4D075BB16X ,  4D075BB26Z ,  4D075BB92Z ,  4D075BB93Z ,  4D075CB02 ,  4D075CB07 ,  4D075DA06 ,  4D075DB14 ,  4D075DC22 ,  4D075EA10 ,  4D075EB07 ,  4D075EB20 ,  4D075EB22 ,  4D075EB32 ,  4D075EB35 ,  4D075EB52 ,  4D075EC30 ,  4J038BA022 ,  4J038CG032 ,  4J038DD002 ,  4J038DJ001 ,  4J038NA19
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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