特許
J-GLOBAL ID：200903089843305101

アクチュエータ装置及びその製造方法並びにインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置

発明者：
守谷 壮一

守谷 壮一 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 栗原 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-079944
公開番号（公開出願番号）：特開2000-272126
出願日： 1999年03月24日
公開日（公表日）： 2000年10月03日
要約：
【要約】【課題】 圧電体層の絶縁破壊を防止したアクチュエータ装置及びその製造方法並びにインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置を提供する。【解決手段】 下電極60の端部が圧電素子300の実質的な駆動部となる圧電体能動部320の端部となっており、且つ下電極60の端部の外側の絶縁層50に、下電極60の少なくとも膜厚分だけ厚い厚膜部51を設けることにより、下電極層60の端部での圧電体層60の膜厚の低下を防止する。
請求項（抜粋）：
基板の一方面側に絶縁層を介して設けられた下電極、該下電極上に設けられた圧電体層及び該圧電体層の表面に設けられた上電極からなる圧電素子を具備するアクチュエータ装置において、前記下電極の端部が前記圧電素子の実質的な駆動部となる圧電体能動部の端部となっており、且つ前記下電極の端部の外側の前記絶縁層に厚膜部が設けられていることを特徴とするアクチュエータ装置。
IPC (3件)：
B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16
FI (2件)：
B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H
Fターム (14件)：
2C057AF65 ,  2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG42 ,  2C057AG44 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP31 ,  2C057AP54 ,  2C057AP57 ,  2C057AP75 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA05 ,  2C057BA14
引用特許：
審査官引用 (5件)
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