特許

J-GLOBAL ID：200903089864985277

ガラス基板の搬送台車

発明者： 大石 正純 ,  笹川 英四郎 ,  近藤 敬宣 ,  竹内 直樹
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 石川 新
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-253055
公開番号（公開出願番号）：特開平10-102258
出願日： 1996年09月25日
公開日（公表日）： 1998年04月21日
要約：

【要約】【課題】 従来のガラス基板の搬送台車においてはガラス基板を支持する支持材も搬送台車の本体と同様にステンレス製であるため、ガラス基板との強い凝着性、大きな表面摩擦などでガラス基板の表面が傷付くことがある。また、ポジショナと搬送台車との間でガラス基板を受渡す際の衝撃でガラス基板の側面部が傷付くことがある。【解決手段】 台車上に上方へ向けてV字形に突設された2対の腕の内側に支持材2を介してガラス基板3を抱えるガラス基板の搬送台車における支持材2がガラス基板3に当接する箇所にセラミックス製または耐熱ポリイミド系エンジニアリングプラスチックス製の受座4,5を備える。

請求項（抜粋）：

台車上に上方へ向けてV字形に突設された2対の腕の内側に支持材を介してガラス基板を抱えるガラス基板の搬送台車において、上記支持材がガラス基板に当接する箇所にセラミックス製の受座を備えたことを特徴とするガラス基板の搬送台車。

IPC (2件)：

C23C 16/44 ,  B65G 49/06

FI (2件)：

C23C 16/44 F ,  B65G 49/06 Z

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 成膜装置の基板搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-279497   出願人：三菱重工業株式会社
• プラズマCVD装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-111084   出願人：松下電器産業株式会社
• 半導体製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-215180   出願人：ソニー株式会社