角度調節装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-088960
公開番号（公開出願番号）：特開2001-270500
出願日： 2000年03月28日
公開日（公表日）： 2001年10月02日
要約：

【要約】【課題】この発明は、簡易な構成で、信頼性の高い高精度な角度調整を容易に実現し得るようにすることにある。【解決手段】第1及び第2のテーブル11,12を同心円上に配置した第1乃至第3の可撓性弾性体13,14,15を介して対向配置して、その第2及び第3の可撓性弾性体14,15を、軸方向に摺動制御することにより、これら第1乃至第3の可撓性弾性体13,14,15が弾性変形されて、第2のテーブル12が第1の可撓性弾性体13を支点として第1のテーブル11に対して回動され、被調整機器16が支持部10に対して角度調整されるように構成した。

請求項（抜粋）：

角度調整部と支持部との間に放射状に配置され、相互間を連結する弾性変形自在な第1乃至第3の可撓性弾性体と、この第1乃至第3の可撓性弾性体の少なくとも2つを、軸方向に摺動させて前記角度調整部を前記支持部に対して角度調整してなる角度調節手段とを具備したことを特徴とする角度調節装置。

引用特許：

出願人引用 (3件)

支持方法及び支持機構
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-017786 出願人：株式会社ニコン
移動ステージ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-219732 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
微小駆動装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-017914 出願人：日本レーザ電子株式会社, 科学技術振興事業団

審査官引用 (3件)

支持方法及び支持機構
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-017786 出願人：株式会社ニコン
移動ステージ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-219732 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
微小駆動装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-017914 出願人：日本レーザ電子株式会社, 科学技術振興事業団

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