特許
J-GLOBAL ID：200903087854711052

微小駆動装置

発明者：
栗原 和枝

栗原 和枝 について

, 
田島 晴雄

田島 晴雄 について


出願人/特許権者：
日本レーザ電子株式会社

日本レーザ電子株式会社 について

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科学技術振興事業団

科学技術振興事業団 について


代理人 (1件)： 伊藤 研一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-017914
公開番号（公開出願番号）：特開平11-202214
出願日： 1998年01月13日
公開日（公表日）： 1999年07月30日
要約：
【要約】【課題】簡易な構成により被移動体を高分解能で直線的に微小移動さることができる微小駆動装置の提供。常に一定の分解能で被移動体を安定的に移動させることができる微小駆動装置の提供。【解決手段】分割駆動手段により電動モータに印加されるパルスを所望の分解能に応じた所定数に分割して分割パルスを発生させて電動モータに印加する。電動モータに連結された送りねじに噛み合うナット部材を所要のリードで軸線方向へ移動し、接続された第1ばね部材を弾性変形させる。第1ばね部材の弾性力により外大1ばね部材より高いばね定数の第2ばね部材を弾性変形して被移動体を、分割パルス及び送りねじのリードと第1及び第2ばね部材のばね定数比に応じた分解能にて微小移動させる。
請求項（抜粋）：
所定のパルス数で1回転駆動する電動モータと、パルスを所望の分解能に応じた所定数に分割した分割パルスを電動モータに印加する分割駆動手段と、電動モータに連結され、噛み合わされたナット部材を所要のリードで軸線方向へ移動する送りねじと、移動するナット部材により弾性変形する第1ばね部材及び該第1ばね部材より高いばね定数からなり、第1ばね部材の弾性力により弾性変形して被移動体を移動させる第2ばね部材とからなる差動ばね手段とを備え、分割パルス及び送りねじのリードと第1及び第2ばね部材のばね定数比に応じた分解能にて被移動体を微小移動可能にした微小駆動装置。
IPC (5件)：
G02B 21/26 ,  G01B 21/30 ,  G01N 37/00 ,  G05D 3/00 ,  G12B 5/00
FI (5件)：
G02B 21/26 ,  G01B 21/30 Z ,  G01N 37/00 A ,  G05D 3/00 A ,  G12B 5/00 T
引用特許：
審査官引用 (18件)
  • 特開昭63-019745
  • 超精密送り装置およびこれを用いたXYテ-ブル並びにテ-ブル移送装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-154156   出願人：畑村洋太郎
  • 特開平3-108117
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