特許
J-GLOBAL ID：200903019442120933

移動ステージ

発明者：
山本 正昭

山本 正昭 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (1件)： 吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-219732
公開番号（公開出願番号）：特開平10-064786
出願日： 1996年08月21日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：
【要約】【課題】ステージを垂直に配置しても、安定して支持することができる移動ステージを提供する。【解決手段】ステージ1上の第1乃至第3のポイントp1乃至p3において、ステージ1を図1の紙面に垂直な方向に進退させるアームa1乃至a3及びアーム駆動手段m1乃至m3を3組設けるとともに、各アームa1乃至a3を前記ステージ1に対し遊離不能に結合する結合部を設ける。この結合部は、第1のアームa1に対し前記ステージ1を回動自在に支持しつつ、第1のアームa1とステージ1とを遊離不能に結合する第1の結合部k1と、前記第2のアームa2に対し前記ステージ1を回動自在に、かつ前記第1のポイントp1と第2のポイントp2とを結ぶ直線方向にだけ平行移動自在に支持しつつ、第2のアームa2とステージ1とを遊離不能に結合する第2の結合部k2と、前記第3のアームa3に対し前記ステージ1を回動自在に、かつステージ面に平行な面内で2次元的に平行移動自在に支持しつつ、第3のアームa3とステージ1とを遊離不能に結合する第3の結合部k3とからなる。
請求項（抜粋）：
その表面に被対象物を保持するステージを、ステージ面上の複数ポイントにおいてステージ面と垂直な方向へ進退させて、被対象物が所定の平面と平行となるようにステージ面の傾斜調整を行う移動ステージであって、前記ステージ面において2次元的に分布配置されたN個(Nは3またはそれ以上の整数)ポイントを、各々独立してステージ面と垂直な方向へ進退させるN個のアーム及びアーム駆動手段と、前記ステージが前記垂直な方向へ移動することを許容しつつ、前記ステージと前記N個のアームのそれぞれとを遊離不能に結合するN個の結合部と、を備えることを特徴とする移動ステージ。
IPC (4件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 ,  H05K 3/00
FI (5件)：
H01L 21/30 503 A ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 H ,  H05K 3/00 L ,  H01L 21/30 511
引用特許：
審査官引用 (7件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM