特許
J-GLOBAL ID：200903089928437163
露光方法及び露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-048782
公開番号（公開出願番号）：特開平11-233429
出願日： 1998年02月13日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：
【要約】【課題】 露光の対象となるパターンの性質に応じて露光条件を変えて多重露光することにより、形成するレジストパターンの形状を改善する露光方法及び露光装置を提供すること。【解決手段】 露光の対象となるパターンの性質に応じて同一領域を投影光学系のNA、照明系の条件を変えて複数回多重露光することにより、形成するレジストパターンの形状を改善するとともに、露光装置の積算露光量モニタにより得られる各回の露光量の実績を記憶する機能を備え、該記憶に基づいて総露光量を制御することを特徴とする露光方法及び露光装置。
請求項（抜粋）：
第1の物体上のパターンを照明系によって照明し、第2の物体上に投影系を介して露光転写する露光装置において、同一の露光領域を複数の露光条件で複数回露光する機能を持つことを特徴とする露光装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 514 A
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 516 D
, H01L 21/30 518
