特許
J-GLOBAL ID：200903089936758815

走査型ケルビンプローブ顕微鏡

発明者：
渡辺 和俊

渡辺 和俊 について


出願人/特許権者：
セイコーインスツルメンツ株式会社

セイコーインスツルメンツ株式会社 について


代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-070655
公開番号（公開出願番号）：特開2000-329680
出願日： 2000年03月14日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：
【要約】【課題】 走査型ケルビンプローブ顕微鏡において、試料表面の電位情報を検出する場合に不要となる周波数成分を抑圧し、測定される試料表面の電位情報のS/Nを向上させることを目的とする。【解決手段】 試料表面の凹凸を測定する場合には、導電性カンチレバー探針2を振動させるための交流信号と、試料の電位情報を測定するために導電性カンチレバー探針と試料間に印可する交流電圧信号を同時に作用させ、電位情報測定時には、導電性カンチレバー探針と試料間に交流電圧信号を作用させ、試料表面を走査測定することを特徴とする走査型ケルビンプローブ顕微鏡。
請求項（抜粋）：
導電性カンチレバー探針と試料間に作用する物理量を検出して試料表面の形状及び試料の電位情報を測定する走査型ケルビンプローブ顕微鏡において、試料表面の凹凸情報を測定する場合には、導電性カンチレバー探針を振動させるための交流信号と、導電性カンチレバー探針と試料間に印可する交流電圧信号の両方を作用させ、電位情報測定時には、前記交流信号のうち、前記導電性カンチレバー探針と試料間に印加する交流電圧信号のみを作用させて試料表面を走査測定することを特徴とする走査型ケルビンプローブ顕微鏡。
IPC (4件)：
G01N 13/16 ,  G01B 7/34 ,  G01R 29/12 ,  G12B 21/02
FI (4件)：
G01N 13/16 A ,  G01B 7/34 Z ,  G01R 29/12 F ,  G12B 1/00 601 A
引用特許：
審査官引用 (4件)
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