特許
J-GLOBAL ID：200903089965483914

石英ガラス断熱部材及びその製造方法

発明者：
新保 優

新保 優 について


出願人/特許権者：
東芝セラミックス株式会社

東芝セラミックス株式会社 について


代理人 (1件)： 高 雄次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-005689
公開番号（公開出願番号）：特開2000-203855
出願日： 1999年01月12日
公開日（公表日）： 2000年07月25日
要約：
【要約】【課題】 長期間に亘って均質で高い断熱性を呈する石英ガラス断熱部材を提供する。【解決手段】 石英ガラスからなる中空の外殻3内に粒状のシリカ多孔体5を充填して真空封入した。
請求項（抜粋）：
石英ガラスからなる中空の外殻内に粒状のシリカ多孔体を充填して真空封入したことを特徴とする石英ガラス断熱部材。
IPC (6件)：
C03B 20/00 ,  C03B 23/20 ,  C03C 3/06 ,  C03C 11/00 ,  H01L 21/22 501 ,  H01L 21/22 511
FI (8件)：
C03B 20/00 K ,  C03B 20/00 G ,  C03B 20/00 J ,  C03B 23/20 ,  C03C 3/06 ,  C03C 11/00 ,  H01L 21/22 501 M ,  H01L 21/22 511 M
Fターム (66件)：
4G014AH00 ,  4G062AA01 ,  4G062AA08 ,  4G062AA13 ,  4G062BB02 ,  4G062DA01 ,  4G062DA10 ,  4G062DB01 ,  4G062DC01 ,  4G062DD01 ,  4G062DE01 ,  4G062DF01 ,  4G062EA01 ,  4G062EA10 ,  4G062EB01 ,  4G062EB02 ,  4G062EC01 ,  4G062EC02 ,  4G062ED01 ,  4G062ED02 ,  4G062EE01 ,  4G062EE02 ,  4G062EF01 ,  4G062EG01 ,  4G062FA01 ,  4G062FA10 ,  4G062FB01 ,  4G062FC01 ,  4G062FD01 ,  4G062FE01 ,  4G062FF01 ,  4G062FG01 ,  4G062FH01 ,  4G062FJ01 ,  4G062FK01 ,  4G062FL01 ,  4G062GA01 ,  4G062GA10 ,  4G062GB01 ,  4G062GC01 ,  4G062GD01 ,  4G062GE01 ,  4G062HH01 ,  4G062HH03 ,  4G062HH05 ,  4G062HH07 ,  4G062HH08 ,  4G062HH09 ,  4G062HH11 ,  4G062HH12 ,  4G062HH13 ,  4G062HH15 ,  4G062HH17 ,  4G062HH20 ,  4G062JJ01 ,  4G062JJ03 ,  4G062JJ05 ,  4G062JJ07 ,  4G062JJ10 ,  4G062KK01 ,  4G062KK03 ,  4G062KK05 ,  4G062KK07 ,  4G062KK10 ,  4G062MM35 ,  4G062NN29
引用特許：
出願人引用 (4件)
  • シリカ保温断熱体及びその製造方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-059024   出願人：信越石英株式会社
  • 半導体熱処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-063019   出願人：信越石英株式会社
  • 熱処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-280086   出願人：東京エレクトロン東北株式会社
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審査官引用 (1件)
  • 現像剤収納容器
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-160974   出願人：株式会社リコー

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