特許
J-GLOBAL ID：200903090036906116

感光性組成物

発明者：
斉藤 雅夫

斉藤 雅夫 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-274707
公開番号（公開出願番号）：特開平8-106158
出願日： 1994年11月09日
公開日（公表日）： 1996年04月23日
要約：
【要約】【目的】 短波長の露光光に対して透明性を有しかつドライエッング耐性に優れた感光性組成物を提供する。【構成】 ベース樹脂と溶解禁止剤と光酸発生剤とからなる3成分系のポジ型感光性組成物において、上記溶解禁止剤はポリオール系化合物の水酸基をチオクトカルボニル基で保護した構成である。これによって、露光とその後の現像処理とによって形成される上記感光性組成物からなるパターンには硫黄が残存し、このパターンをマスクにしてドライエッチングを行った場合には、パターン中の硫黄を含む化合物が分解され、硫黄及び硫黄化合物がパターンの露出面及びエッチング側壁に付着してエッチング保護膜が形成される。
請求項（抜粋）：
ベース樹脂と、溶解禁止剤と、光酸発生剤とからなる感光性組成物において、前記溶解禁止剤は、複数のアルコール性水酸基を有するポリオール系化合物の水酸基を、硫黄を含む酸脱離性保護基で保護してなるものであることを特徴とする感光性組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/004 501 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/029 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027
引用特許：
審査官引用 (7件)
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