感光性組成物

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：船橋國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-015963
公開番号（公開出願番号）：特開平7-209867
出願日： 1994年01月14日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：

【要約】【目的】エキシマレーザリソグラフィー用の感光性組成物を提供することによって半導体装置の微細化を促進する。【構成】ポリビニルアルコールまたはその誘導体であるビニルアセタールの少なくとも一部の水酸基を DL-チオクトカルボニル基, 1,3ジチオラン -2-カルボニル基または 1,3ジチアン -2-カルボニル基で保護してなる樹脂と、光酸発生剤とで感光性組成物を構成する。これによって、短波長領域の露光光に対する透明性と、塩素ガスを用いたドライエッチング耐性と有する感光性組成物を得る。

請求項（抜粋）：