特許

J-GLOBAL ID：200903090044108636

固体撮像装置およびその製造方法

発明者： 丸山 俊介 ,  阿部 秀司 ,  大橋 正典 ,  紅林 久 ,  田谷 圭司 ,  藤曲 潤一郎 ,  榎本 容幸
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (2件)： 角田 芳末 ,  伊藤 仁恭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-380623
公開番号（公開出願番号）：特開2007-184311
出願日： 2005年12月29日
公開日（公表日）： 2007年07月19日
要約：

【課題】工程数の増加をきたすことなく、かつ黒基準画素における遮光性が充分得られる固体撮像装置およびその製造方法を提供する。【解決手段】配線層60を有し、配線層6とコンタクトパッド30とがそれぞれ構成材を異にする金属層によって構成される固定撮像装置であり、黒基準画素2SB上に形成する遮光層70を、コンタクトパッド30の金属層と同時に形成された金属層によって構成することによって製造工程数の増加を来たすことなく、しかも金属層による遮光層としたことによって確実な遮光を行うことができ、黒レベル信号を正確に得ることができるようにする。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

光電変換素子を有する撮像画素が配列された撮像領域部と、周辺回路部と、外部リードのコンタクトパッドと、黒基準画素と、配線層を有し、 該配線層と上記コンタクトパッドとがそれぞれ構成材を異にする金属層によって構成される固定撮像装置であって、 少なくとも上記周辺回路部上と上記黒基準画素上とに遮光層が形成され、該遮光層が、上記コンタクトパッドの金属層と同時に形成された金属層によって構成された ことを特徴とする固体撮像装置。

IPC (2件)：

H01L 27/14 ,  H01L 27/146

FI (2件)：

H01L27/14 D ,  H01L27/14 A

Fターム (13件)：

4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA14 ,  4M118CA03 ,  4M118CB14 ,  4M118DD12 ,  4M118EA18 ,  4M118FA06 ,  4M118FA33 ,  4M118GB09 ,  4M118GC08 ,  4M118GD04 ,  4M118HA30

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 固体撮像装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-194586   出願人：株式会社東芝

審査官引用 (4件)

• 光電変換装置およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-148986   出願人：キヤノン株式会社
• 固体撮像素子及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-064610   出願人：ソニー株式会社
• 固体撮像装置および固体撮像装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-175245   出願人：ソニー株式会社
• 固体撮像装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-336798   出願人：株式会社ニコン