表面欠陥検査装置および表面欠陥検査方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡辺望稔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-365136
公開番号（公開出願番号）：特開2002-168793
出願日： 2000年11月30日
公開日（公表日）： 2002年06月14日
要約：

【要約】【課題】微小なくぼみや突起等を欠陥として容易に検出することができるとともに、欠陥の具体的な形状や大きさ等を容易かつ精密に検査することでき、表面欠陥の発生原因の解明や対策による効果の判定等を容易に行うことができ、かつ、極めて薄くフレキシブルな磁気ディスクにも対応することができるオフラインで使用する表面欠陥検査装置および表面欠陥検査方法を提供する。【解決手段】検査対象物に直角に平行光線を照射し、検査対象物で反射した光を受光して撮像装置で撮像し、画像処理して欠陥を検出して検査対象物全体の欠陥の位置情報を記録する自動欠陥検出装置と、欠陥の位置情報を表示する表示装置と、指定された欠陥を精密検査する精密検査装置と、検査対象物の欠陥を精密検査装置の下方に移動する検査対象物搬送装置とを有する表面欠陥検査装置によって達成される。

請求項（抜粋）：

平面状の検査対象物の表面の欠陥を検査する表面欠陥検査装置であって、前記検査対象物の表面に直角に平行光線を照射する光源と、この平行光線の前記検査対象物の表面から反射した反射光を受光して撮像する撮像装置と、この撮像装置で撮像された画像を画像処理して前記検査対象物の表面の欠陥を検出し、欠陥の位置情報を求める画像処理装置とを有する自動欠陥検出装置と、この自動欠陥検出装置で検出した欠陥の位置情報に基づき指定された、前記検査対象物の表面の欠陥を精密検査する精密検査装置と、前記指定された欠陥の位置情報に基づいて、前記指定された欠陥を前記精密検査装置の検査位置に移動する検査対象物搬送装置とを有することを特徴とする表面欠陥検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/95 , G01B 11/30 , G11B 5/84

FI (3件)：

G01N 21/95 A , G01B 11/30 A , G11B 5/84 C

Fターム (43件)：

2F065AA49 , 2F065AA61 , 2F065BB03 , 2F065CC03 , 2F065DD03 , 2F065FF01 , 2F065FF04 , 2F065FF67 , 2F065GG04 , 2F065HH03 , 2F065HH13 , 2F065JJ03 , 2F065JJ09 , 2F065JJ26 , 2F065LL00 , 2F065LL59 , 2F065MM03 , 2F065NN03 , 2F065PP12 , 2F065QQ05 , 2F065QQ25 , 2F065SS04 , 2F065SS13 , 2F065TT02 , 2F065UU04 , 2F065UU05 , 2G051AA71 , 2G051AB07 , 2G051AC02 , 2G051BA10 , 2G051BB07 , 2G051BB15 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051EA08 , 2G051EA11 , 2G051EB01 , 2G051EC01 , 2G051FA01 , 5D112AA24 , 5D112JJ03 , 5D112JJ05 , 5D112JJ10

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開昭61-099845
検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-162848 出願人：株式会社ニュークリエイション
検査用光学系および検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-141118 出願人：株式会社ニュークリエイション

全件表示

前のページに戻る