露光装置およびデバイス製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-247499
公開番号（公開出願番号）：特開平11-074185
出願日： 1997年08月29日
公開日（公表日）： 1999年03月16日
要約：

【要約】【課題】効率的に制御パラメータのチェックを行うことができるようにする。【解決手段】装置の動作状態を示す各種パラメータ、例えば装置の動作を制御するための制御パラメータや、装置が計測する温度や圧力を記録して履歴情報53として保持する。この履歴情報を必要に応じて、所定の形式で表示し、パラメータのチェックに供する。

請求項（抜粋）：