特許
J-GLOBAL ID：200903090184494102
共重合体、重合体混合物および感放射線性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩見谷 周志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-354142
公開番号（公開出願番号）：特開2004-210803
出願日： 2002年12月05日
公開日（公表日）： 2004年07月29日
要約：
【課題】遠紫外線に感応する化学増幅型レジストとして有用で、良好なドライエッチング耐性有するとともに、高解像度で放射線透過率が高い感放射性樹脂組成物、ならびにその成分として有用な共重合体及び重合体混合物を提供する。【解決手段】(A)シクロアルキル系酸解離性基で保護された(メタ)アクリレート繰返し単位、ヒドロキシスチレン系繰返し単位、及び特定の酸解離性基で保護されたヒドロキシスチレン系繰返し単位を含有する共重合体などの重合体成分と、(B)感放射線性酸発生剤とを含有することを特徴とする感放射性樹脂組成物。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
(A)下記一般式(1)で表される繰返し単位、一般式(2)で表される繰返し単位、及び一般式(3)で表される繰り返し単位を有し、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)で測定したポリスチレン換算重量平均分子量が3,000〜100,000である共重合体。
IPC (4件)：
C08F220/18
, C08F212/14
, G03F7/039
, H01L21/027
C08F220/18
, C08F212/14
, G03F7/039 601
, H01L21/30 502R
2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AA09
, 2H025AB16
, 2H025AC04
, 2H025AC05
, 2H025AC06
, 2H025AC08
, 2H025AD03
, 2H025BE00
, 2H025BE10
, 2H025BG00
, 2H025CB14
, 2H025CB16
, 2H025CB17
, 2H025CB45
, 2H025CB55
, 2H025CB56
, 2H025FA17
, 4J100AB07Q
, 4J100AB07R
, 4J100AL08P
, 4J100BA03Q
, 4J100BA04R
, 4J100BA05R
, 4J100BA14R
, 4J100BA72R
, 4J100BA93R
, 4J100BC02P
, 4J100CA05
, 4J100JA38
