光触媒膜被覆部材およびその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：上代哲司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-272664
公開番号（公開出願番号）：特開2000-096212
出願日： 1998年09月28日
公開日（公表日）： 2000年04月04日
要約：

【要約】【課題】耐熱温度400°C以下の基材上、あるいはソーダライムガラス上に高硬度、高密着強度のアナターゼ型二酸化チタン膜を形成した光触媒膜被覆部材を低コストで提供する。【解決手段】基材上に、真空アーク蒸着法により、基材温度が400°C以下のの低温で、少なくともArとO2を含む雰囲気ガス中で、Tiターゲットをアーク蒸発させることにより、アナターゼ型二酸化チタン膜を形成させる。

請求項（抜粋）：

基材上に直接あるいは中間層を介して光触媒膜が被覆された部材であって、該基材の耐熱温度が400°C以下であり、該光触媒膜が真空アーク蒸着法により形成されたアナターゼ型結晶構造を有する二酸化チタンであることを特徴とする、光触媒膜被覆部材。

IPC (5件)：

C23C 14/08 , B01J 35/02 , B01J 37/02 301 , C03C 17/245 , C23C 14/24

FI (5件)：

C23C 14/08 E , B01J 35/02 J , B01J 37/02 301 P , C03C 17/245 , C23C 14/24 F

Fターム (28件)：

4G059AA11 , 4G059AC30 , 4G059EA04 , 4G059EB03 , 4G069AA03 , 4G069AA08 , 4G069BA04A , 4G069BA04B , 4G069BA14A , 4G069BA14B , 4G069BA48A , 4G069BA48C , 4G069CA01 , 4G069CD10 , 4G069DA06 , 4G069EA08 , 4G069EC22X , 4G069EC22Y , 4G069FA03 , 4G069FB02 , 4K029AA09 , 4K029BA48 , 4K029BD00 , 4K029CA04 , 4K029EA03 , 4K029EA05 , 4K029EA08 , 4K029EA09

引用特許：

審査官引用 (3件)

TiO2 膜及びその製造方法、熱線反射膜並びに熱線反射体
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-027373 出願人：日本板硝子株式会社
真空成膜方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-264192 出願人：日本板硝子株式会社
特開平2-015162

引用文献：

審査官引用 (2件)

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