切断用試料のモールド製作方法およびそのモールド製作治具

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-253523
公開番号（公開出願番号）：特開2001-077134
出願日： 1999年09月07日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：

【要約】【課題】切断する個所を容易に認識可能な切断用試料のモールド製作方法およびそのモールド製作治具を提供する。【解決手段】切断用の試料を着色モールド剤で覆う工程と、さらにその外側を透明モールド剤で覆ってモールドブロックを製作する工程とからなり、着色モールド剤は、透明モールド剤よりも薄く覆う。また、このモールド製作治具は、試料を収め着色モールド剤を流し込む第1の容器と、上部に排出口を有し第1の容器を覆う容器蓋とを含む治具Aと;この治具Aにより着色モールド剤で覆われた切断用試料を収めて透明モールド剤を流し込む第2の容器からなる治具Bとから構成されている。そして、排出口の縁を筒状とし、かつ筒の高さを変えることにより、余分の着色モールド剤を排出して試料を覆う量を調節できる。

請求項（抜粋）：

切断用の試料を第1のモールド剤で覆う工程と、さらにその外側を第2のモールド剤で覆う工程とからなることを特徴とする切断用試料のモールド製作方法。

IPC (3件)：

H01L 21/56 , H01L 23/29 , H01L 23/31

FI (2件)：

H01L 21/56 R , H01L 23/30 B

Fターム (15件)：

4M109AA02 , 4M109BA07 , 4M109CA04 , 4M109EA20 , 4M109EC11 , 4M109EC20 , 4M109EE12 , 4M109EE13 , 4M109GA06 , 5F061AA02 , 5F061BA07 , 5F061CA04 , 5F061CB02 , 5F061DE06 , 5F061GA03

引用特許：

出願人引用 (7件)

特開昭51-127754
特開昭63-215940
特開昭64-066545

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審査官引用 (6件)

特開昭51-127754
特開昭63-215940
特開昭64-066545

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