特許
J-GLOBAL ID:200903090332387485
ペレット検出方法、ペレット検出装置及びペレット取出装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-228717
公開番号(公開出願番号):特開2002-098789
出願日: 2001年06月21日
公開日(公表日): 2002年04月05日
要約:
【要約】【課題】 ペレットの安定した検出を実現する。【解決手段】 ペレット位置検出装置20において、シート1上のペレット2に対しビーム光(レーザ光)を照射するとともに、このビーム光の反射光を受光し、ペレット2を横断する方向の各位置における受光量の低減位置をペレット2の外縁位置として認識することにより、ペレット2の位置を検出するもの。
請求項(抜粋):
載置部材に載置されたペレットを検出するペレット検出方法において、前記載置部材に載置された前記ペレットに対してビーム光を前記ペレットの横断方向に走査するとともにその反射光を受光し、前記ビーム光の照射位置並びにその照射位置からの反射光量に基づいて前記ペレットの状態を検出することを特徴とするペレット検出方法。
IPC (3件):
G21C 17/06
, G01B 11/00
, G21C 21/02
FI (3件):
G01B 11/00 A
, G21C 21/02 L
, G21C 17/06 R
Fターム (19件):
2F065AA12
, 2F065CC19
, 2F065DD04
, 2F065FF01
, 2F065FF44
, 2F065GG04
, 2F065HH04
, 2F065JJ01
, 2F065LL13
, 2F065LL19
, 2F065MM16
, 2F065QQ28
, 2F065UU05
, 2G075CA38
, 2G075DA15
, 2G075FA12
, 2G075FC03
, 2G075FC14
, 2G075GA09
引用特許:
審査官引用 (7件)
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ウエハのアライメント方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-228834
出願人:日立電子エンジニアリング株式会社
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特開昭55-070032
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ペレット分類装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-253984
出願人:株式会社日立製作所, 日立東京エレクトロニクス株式会社
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