固体撮像素子およびその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (5件)：小栗昌平 , 本多弘徳 , 市川利光 , 高松猛 , 濱田百合子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-162370
公開番号（公開出願番号）：特開2004-363473
出願日： 2003年06月06日
公開日（公表日）： 2004年12月24日
要約：

【課題】白キズの発生を抑制し、信頼性の高い固体撮像素子を提供する。【解決手段】光電変換部と、前記光電変換部で生起せしめられた電荷を転送する電荷転送電極を備えた電荷転送部と、前記電荷転送部に接続された周辺回路部とを具備し、前記光電変換部の表面を窒化シリコン膜からなる反射防止膜で被覆した固体撮像素子であって、前記電荷転送電極下のゲート酸化膜の側壁と、前記反射防止膜との間に水素透過性のスペーサ膜を介在させたことを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光電変換部と、前記光電変換部で生起せしめられた電荷を転送する電荷転送電極を備えた電荷転送部と、前記電荷転送部に接続された周辺回路部とを具備し、前記光電変換部の表面を窒化シリコン膜からなる反射防止膜で被覆した固体撮像素子であって、前記電荷転送電極下のゲート酸化膜の側壁と、前記反射防止膜との間に水素透過性のスペーサ膜を介在させたことを特徴とする固体撮像素子。

IPC (3件)：

H01L27/14 , H01L27/148 , H04N5/335

FI (3件)：

H01L27/14 D , H04N5/335 U , H01L27/14 B

Fターム (22件)：

4M118AA05 , 4M118AB01 , 4M118BA10 , 4M118BA13 , 4M118CA03 , 4M118CA32 , 4M118DA13 , 4M118EA01 , 4M118EA14 , 4M118FA06 , 4M118FA26 , 4M118FA35 , 4M118GB03 , 4M118GB11 , 4M118GC07 , 4M118GD04 , 4M118GD07 , 5C024CX03 , 5C024CY47 , 5C024GX02 , 5C024GY01 , 5C024HX40

引用特許：

審査官引用 (3件)

固体撮像装置およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-177262 出願人：日本電気株式会社
固体撮像装置の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-010132 出願人：松下電器産業株式会社
固体撮像素子及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-245461 出願人：ソニー株式会社

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