特許
J-GLOBAL ID:200903090423625664

静圧磁気複合軸受およびスピンドル装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 野田 雅士 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-107215
公開番号(公開出願番号):特開平11-303867
出願日: 1998年04月17日
公開日(公表日): 1999年11月02日
要約:
【要約】【課題】 静圧軸受の優れた動剛性および回転精度と磁気軸受の優れた静剛性とを併せ持ち、コンパクトが図れる軸受とする。【解決手段】 静圧軸受2と磁気軸受3とを、互いに兼用部分が生じるように一体化したラジアル形式の軸受1とする。磁気軸受3のコイル7の中心線をロータ4aの軸方向と略平行とする。静圧軸受2の圧力流体のノズル15をコイル7に対して軸方向に並べて設ける。磁気軸受3は、一対のヨーク結合体12,12の間に、コイル7の巻かれたコア部品8を介在させたものとする。ヨーク結合体12は、リング状の非磁性体11に形成された円周方向複数個所の孔13にコア6の一部となるヨーク9を締り嵌め状態に嵌合させたものとする。両ヨーク結合体12,12の対向面の内周縁間は別の非磁性材体14で埋める。
請求項(抜粋):
静圧軸受と磁気軸受とを、互いに兼用部分が生じるように一体化したラジアル形式の軸受とし、前記磁気軸受のコイルの中心線をロータの軸方向と略平行とし、かつ前記静圧軸受の圧力流体のノズルを前記コイルに対して軸方向に並べて設けた静圧磁気複合軸受。
IPC (4件):
F16C 32/00 ,  B23B 19/02 ,  F16C 32/04 ,  F16C 32/06
FI (4件):
F16C 32/00 C ,  B23B 19/02 B ,  F16C 32/04 Z ,  F16C 32/06 Z
引用特許:
審査官引用 (8件)
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