蛍光X線分析装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉本修司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-310057
公開番号（公開出願番号）：特開2000-137010
出願日： 1998年10月30日
公開日（公表日）： 2000年05月16日
要約：

【要約】【課題】分析室の設定した真空度の収束時間が短くなるように圧力制御して、真空度の安定性の確保と軽元素分析精度の向上を図ることができる蛍光X線分析装置を提供する。【解決手段】圧力センサ11による圧力検出値と真空設定値とが合致するように、真空ポンプ3の回転数を変化させて排気能力を増減させる動作を行うインバータ装置10を制御して、その排気能力を調整する。したがって、真空ポンプ3による排気の応答性が向上し、設定した真空度の収束時間を短くするので、真空度の安定性を確保できる。

請求項（抜粋）：

真空ポンプにより真空引きした分析室内の試料を蛍光X線分析する蛍光X線分析装置であって、前記真空ポンプへの供給電力の周波数を変化させることにより、真空ポンプの回転数を変化させて排気能力を増減させる動作を行うインバータ装置と、前記分析室内の圧力を検出する圧力センサと、前記圧力センサによる圧力検出値と、真空設定値とが合致するように、前記インバータ装置を制御して、前記真空ポンプの排気能力を調整する圧力制御手段とを備えた蛍光X線分析装置。

IPC (2件)：

G01N 23/223 , F04B 37/16

FI (2件)：

G01N 23/223 , F04B 37/16 A

Fターム (24件)：

2G001AA01 , 2G001BA04 , 2G001CA01 , 2G001GA16 , 2G001JA11 , 2G001JA14 , 2G001JA20 , 2G001KA01 , 2G001MA02 , 2G001MA04 , 2G001NA03 , 2G001NA16 , 2G001PA02 , 2G001PA07 , 2G001PA11 , 3H076AA16 , 3H076AA21 , 3H076AA39 , 3H076BB34 , 3H076CC07 , 3H076CC51 , 3H076CC94 , 3H076CC98 , 3H076CC99

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平4-358531
特開平1-235840
特開平3-044545

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