全固体薄膜電池、正極および薄膜形成方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：特許業務法人ハートクラスタ , 渡辺征一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-004852
公開番号（公開出願番号）：特開2009-167448
出願日： 2008年01月11日
公開日（公表日）： 2009年07月30日
要約：

【課題】蒸着法によって、生産上大きなトラブルの原因となるスプラッシュ等を防止し、安定して平坦な膜を成長することができる、薄膜形成方法、その薄膜形成方法で形成したリチウム電池用正極、その正極を備えるリチウム電池を提供する。【解決手段】るつぼ21の原料装入空間21aを、1つまたは数個によって占めるような形状のペレット15を、成形加工する工程と、成形加工によって準備されたペレット15を、1個または数個、るつぼに装入して照射を行う工程とを備えることを特徴とする。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

蒸着原料容器に装入した原料に、電子ビームまたはレーザービームを照射して蒸気を発生し、基板上に蒸着膜を蒸着する真空蒸着法において、前記蒸着原料容器の原料装入空間を、1つまたは数個によって占めるような形状の圧粉体を、成形加工する工程と、前記成形加工によって準備された圧粉体を、1個または数個、前記蒸着原料容器に装入して前記照射を行う工程とを備えることを特徴とする、薄膜形成方法。

IPC (8件)：

C23C 14/24 , H01M 4/04 , H01M 4/02 , H01M 4/06 , H01M 4/08 , H01M 10/36 , H01M 6/16 , H01M 6/18

FI (11件)：

C23C14/24 E , H01M4/02 109 , H01M4/02 102 , H01M4/06 N , H01M4/08 N , H01M4/08 K , H01M4/06 K , H01M10/00 102 , H01M6/16 Z , H01M6/18 Z , H01M10/00 110

Fターム (39件)：

4K029AA02 , 4K029AA24 , 4K029BA50 , 4K029BD00 , 4K029CA01 , 4K029DB05 , 4K029DB08 , 4K029DB20 , 4K029DB21 , 4K029EA01 , 5H024AA02 , 5H024AA12 , 5H024BB00 , 5H024BB11 , 5H024FF11 , 5H024FF22 , 5H024HH08 , 5H024HH13 , 5H029AJ14 , 5H029AK03 , 5H029AL12 , 5H029AM12 , 5H029AM16 , 5H029CJ24 , 5H029HJ02 , 5H029HJ04 , 5H029HJ08 , 5H050AA19 , 5H050BA06 , 5H050BA07 , 5H050BA15 , 5H050BA17 , 5H050CA08 , 5H050CB12 , 5H050DA02 , 5H050GA24 , 5H050HA02 , 5H050HA04 , 5H050HA08

引用特許：

出願人引用 (1件)

リチウム二次電池用電極の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-030773 出願人：三洋電機株式会社

審査官引用 (11件)

リチウム二次電池用電極の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-030773 出願人：三洋電機株式会社
p型半導体酸化亜鉛膜の製造方法、及び透明基板を使用したパルスレーザ堆積方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-024358 出願人：イムラアメリカインコーポレイテッド
特開平4-311561

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