ダイレクトタッチ型メタルダイヤフラム弁

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉本丈夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-250300
公開番号（公開出願番号）：特開2007-064333
出願日： 2005年08月30日
公開日（公表日）： 2007年03月15日
要約：

【課題】ダイレクトタッチ型のメタルダイヤフラム弁において、適宜の流量係数Cvを保持した状態下でバルブの耐久性即ち保証のできるバルブの連続開閉作動回数を大幅に図化させると共に、弁座の経時変形を押えて前記Cv値の経時変動をより少なくする。【解決手段】ダイレクトタッチ型の金属ダイヤフラム弁において、前記メタルダイヤフラムを複数枚のステンレス鋼薄板とニッケル・コバルト合金薄板との積層体より成り且つ中央部を上方へ膨出させた円形の逆皿形に形成すると共に、前記メタルダイヤフラムの最大膨出高さΔhの55〜70%の距離をバルブの最大バルブストロークに規制する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

流体入口及び流体出口に連通する凹状の弁室の底面に弁座を設けたボディと、弁座の上方に配設され、弁室の気密を保持すると共に、その中央部が上下動して直接弁座へ当接するメタルダイヤフラムと、メタルダイヤフラムの上方に昇降自在に配設され、メタルダイヤフラムの中央部を下方へ下降させるステムと、ステムを下降若しくは上昇させるアクチュエータと、メタルダイヤフラムの外周縁部の上方に配設され、弁室の底面との間でメタルダイヤフラムを気密状に挟圧すると共に、バルブ全閉時のステムの下降を規制する押えアダプタとから構成したダイレクトタッチ型メタルダイヤフラム弁において、前記メタルダイヤフラムを複数枚のステンレス鋼薄板とニッケル・コバルト合金薄板との積層体より成り且つ中央部を上方へ膨出させた円形の逆皿形に形成すると共に、前記メタルダイヤフラムの最大膨出高さΔhの55〜70%の距離をバルブの最大バルブストロークΔSに規制したことを特徴とするダイレクトタッチ型メタルダイヤフラム弁。

IPC (2件)：

F16K 7/12 , F16J 3/02

FI (3件)：

F16K7/12 B , F16K7/12 A , F16J3/02 A

Fターム (3件)：

3J045AA04 , 3J045BA04 , 3J045CA07

引用特許：

出願人引用 (1件)

制御器
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-240346 出願人：清原まさ子

審査官引用 (6件)

流体制御器
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-133450 出願人：清原まさ子
ダイアフラムシール弁及びその金属ダイアフラム
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-115079 出願人：日立金属株式会社
エアーオペレートバルブ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-310387 出願人：シーケーディ株式会社

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