ナノチューブの目標蒸着法および電子部品

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：原謙三 , 木島隆一 , 金子一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-113542
公開番号（公開出願番号）：特開2004-042253
出願日： 2003年04月18日
公開日（公表日）： 2004年02月12日
要約：

【課題】カーボンナノチューブを目標に合わせて平らな表面に蒸着する方法を提供する。【解決手段】ナノチューブの蒸着は、マイクロメータ以下又はナノメータの範囲の毛管を使用して行われる。エラストマー材料からなるリリーフ構造を持ったラムを、平らな表面と接触させる。ナノチューブ分散液の液体が、ある面に滴下されれば、この液体は、毛管力を受けて拡散する。毛管中のナノチューブの移動度は、サイズ及び個々の毛管の形状によって決まるが、表面の状態もナノチューブの移動度に影響する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

平らな表面に複数のナノチューブを目標に合わせて蒸着する方法であって、エラストマー材料からなり、一つの表面にリリーフ構造を備えたラムを用意するステップ(a)と、上記ラムを平らな基板に塗布して該基板と上記ラムとを組み合わせることにより、1つまたはそれ以上の毛管からなり、かつ、少なくとも1つの入口および出口を備えたミクロ液体毛管システムを形成するステップ(b)と、複数のナノチューブの分散液を、上記ミクロ液体毛管システムの少なくとも1つの入口と接触させることによって、毛管力を用いて、上記ナノチューブの分散液を、上記の1つまたはそれ以上の毛管を該分散液で充填しつつ上記ミクロ液体毛管システムのすみずみに拡散させるステップ(c)と、上記ナノチューブの分散液を乾燥させるステップ(d)と、上記ラムを除去するステップ(e)とを有する目標蒸着法。

IPC (3件)：

B82B3/00 , C01B31/02 , H01L29/06

FI (3件)：

B82B3/00 , C01B31/02 101F , H01L29/06 601N

Fターム (7件)：

4G146AA11 , 4G146AB07 , 4G146AB08 , 4G146AD17 , 4G146BA04 , 4G146CB05 , 4G146CB17

引用特許：

審査官引用 (4件)

微細物質の固定ならびに電極形成法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-035071 出願人：日本電気株式会社
電界放出陰極、電子放出素子および電界放出陰極の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-255519 出願人：株式会社東芝
カ-ボンナノチュ-ブのフイルム化方法、その方法によりフィルム化されたカ-ボンナノチュ-ブ及びこれを用いた電界電子放出源
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-008690 出願人：坪井利行

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