特許
J-GLOBAL ID：200903090734656857
誘導結合プラズマ質量分析装置を用いた微量不純物元素の定量方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
大家 邦久
, 林 篤史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-057684
公開番号（公開出願番号）：特開2008-216211
出願日： 2007年03月07日
公開日（公表日）： 2008年09月18日
要約：
【課題】試料中の微量不純物元素の量を汎用の四重極型質量分析装置を用いて簡易にかつ精密・正確に定量することができる方法を提供する。【解決手段】2個以上の安定同位体を有する元素の定量方法であって、(1)試料に濃縮安定同位体を特定量添加した後、マトリックス材料除去を含む前処理を行ないICP-MSにより同位体のシグナル強度を測定し、(2)濃縮安定同位体のみについて同様にシグナル強度を測定し、(3)特定の同位体の上記強度比を前処理における仮回収率とし、その仮回収率等および予め作成した検量線を用い試料中の分析対象元素の仮存在量を求め、(4)分析対象元素の特定量と分析対象元素と同一元素の濃縮安定同位体の特定量とを含有する模擬試料溶液について同様にシグナル強度を測定して仮存在量を算出し、それと模擬試料溶液で配合した既知量との関係から測定偏り率を求め、仮存在量を補正して分析対象元素の存在量を算出する。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
2個以上の安定同位体を有する元素の定量方法であって、
(1)試料に分析対象元素と同一元素の濃縮安定同位体を特定量添加した後、マトリックス材料除去を含む前処理を行ない、同位体平衡を成立させてなる試料溶液について誘導結合プラズマ質量分析装置(ICP-MS)により同位体の質量電荷比のシグナル強度(以下、混合強度)を測定する工程、
(2)分析対象元素と同一元素の濃縮安定同位体の特定量についてICP-MSにより同位体の質量電荷比のシグナル強度(以下、比較強度)を測定する工程、
(3)特定の同位体の質量電荷比における比較強度に対する混合強度を前処理における仮回収率とし、その仮回収率、別の同位体の質量電荷比における混合強度および比較強度に基づき、試料中の別の同位体の質量電荷比のシグナル強度を算出し、予め作成した当該別の同位体の検量線を用い試料中の分析対象元素の仮存在量を求める工程、および
(4)分析対象元素の特定量と分析対象元素と同一元素の濃縮安定同位体の特定量とを含有する模擬試料溶液、および同濃縮安定同位体を特定量含む比較溶液について、ICP-MSにより同位体の質量電荷比のシグナル強度を測定し、前記測定したシグナル強度から上記工程(3)と同様に算出した仮存在量と模擬試料溶液で用いた既知の量との関係から測定偏り率を求め、得られた測定偏り率から上記工程(3)で求めた分析対象元素の仮存在量を補正し、分析対象元素の存在量を算出する工程
を含むことを特徴とする微量元素の定量方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (4件)：
2G041CA01
, 2G041DA14
, 2G041FA21
, 2G041LA10
