揮発性元素の濃縮方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-102234
公開番号（公開出願番号）：特開2003-294597
出願日： 2002年04月04日
公開日（公表日）： 2003年10月15日
要約：

【要約】【課題】トリクロロシラン等のハロゲン化シラン中に微量存在するホウ素等の揮発性元素を短時間に、コンタミネーションを低減させて濃縮することができる方法を提供する。【解決手段】ホウ素等の揮発性元素を含むハロゲン化シランから成る試料とマンニトール等の錯化剤とをハロゲン化シランの重量を基準として2重量%以下の水の存在下で混合して揮発性元素を含有する錯化合物を形成した後に該試料中のハロゲン化シランの少なくとも一部を揮発させて除去し、次いで残った試料中の珪素成分を弗化水素酸を用いて弗化珪素に転化させてからこれを加熱処理することにより除去することによって前記試料中に含まれる揮発性元素を濃縮する。

請求項（抜粋）：

揮発性元素を含むハロゲン化シランから成る試料と錯化剤とをハロゲン化シランの重量を基準として2重量%以下の水の存在下で混合して揮発性元素を含有する錯化合物を形成した後に該試料中のハロゲン化シランの少なくとも一部を除去し、次いで残った試料中の珪素成分を弗化珪素に転化させて除去することを特徴とする前記試料中に含まれる揮発性元素の濃縮方法。

IPC (5件)：

G01N 1/36 , C01B 33/107 , G01N 1/10 , G01N 1/28 , G01N 27/62

FI (6件)：

C01B 33/107 B , G01N 1/10 D , G01N 27/62 V , G01N 1/28 Z , G01N 1/28 Y , G01N 1/28 K

Fターム (19件)：

2G052AA00 , 2G052AB01 , 2G052AB26 , 2G052AB27 , 2G052AC28 , 2G052AD26 , 2G052CA03 , 2G052CA04 , 2G052DA12 , 2G052EB04 , 2G052EB11 , 2G052ED01 , 2G052FB02 , 2G052GA34 , 4G072AA14 , 4G072HH07 , 4G072HH09 , 4G072MM08 , 4G072TT19

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開昭49-074199
フッ化シランの製造法およびその精製法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-161508 出願人：セントラル硝子株式会社
微量金属不純物の分析方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-321916 出願人：株式会社トクヤマ

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