導電体の厚み測定装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：矢葺知之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-251191
公開番号（公開出願番号）：特開2003-065706
出願日： 2001年08月22日
公開日（公表日）： 2003年03月05日
要約：

【要約】【課題】鉄材料、非鉄金属材料及び導電性流体等について、交流磁界を発生させてそのインダクタンス測定値から短時間に層の厚さや距離を導出すること。【解決手段】励磁コイルに多重周波数の交流電流を流して、多周波数磁界を被測定物に印加して、検出コイルの誘導電圧を測定し、各周波数のコイルのインダクタンスを一括して測定する。即ち、平板形の被測定導電体に対向し、または断面が円形の被測定導電体を内包した励磁コイルと、当該コイルに交流電流を流すための励磁コイル駆動部を持ち、励磁コイルと平行に置いた誘導電圧検出コイルと、当該コイルの誘導電圧を検出するためのプリアンプと、電圧データ処理するディジタル信号処理部を有し、多重周波数電圧データから離散フーリエ変換で多周波数インダクタンスを計算し、当該多周波数インダクタンス測定値から被測定導電体の理論モデル解を元に回帰計算で膜厚を導出する。

請求項（抜粋）：

平板形の被測定導電体に対向した、または断面が円形の被測定導電体を内包した励磁コイルと、励磁コイルに交流電流を流すための励磁コイル駆動部と、励磁コイルと平行に置いた誘導電圧検出コイルと、誘導電圧検出コイルの誘導電圧を増幅するためのプリアンプと、プリアンプの出力電圧をディジタル化し、その信号を処理するためのディジタル信号処理部とを有し、前記励磁コイルを複数の周波数で励磁して得る誘導電圧検出コイルの複数の周波数のインダクタンス測定値から導電体の厚みを算出する導電体の厚み測定装置において、前記励磁コイル駆動部が、多重周波数電圧信号発生器と電圧電流変換増幅器とから構成され、前記励磁コイルに実質的に各周波数成分が一定振幅の励磁電流を印加してインダクタンスを測定するようにしたことを特徴とする導電体の厚み測定装置。

Fターム (7件)：

2F063AA16 , 2F063BB02 , 2F063CA11 , 2F063GA01 , 2F063GA03 , 2F063GA29 , 2F063LA30

引用特許：

出願人引用 (8件)

特開昭62-021002
特開昭64-041855
特開平1-185403

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審査官引用 (8件)

表層厚さ測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-196534 出願人：新日本製鐵株式会社
距離計及び厚み計
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-214718 出願人：三基システムエンジニアリング株式会社
特開昭62-021002

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