光導波路プローブおよび光システム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：林敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-063446
公開番号（公開出願番号）：特開平9-257814
出願日： 1996年03月19日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：

【要約】【課題】光導波損失が少なく調整も簡単な光導波路プローブおよび光システムを実現する。【解決手段】平面的に光導波路を形成し、光導波路の先端を尖鋭化し、圧電的な検出機構を設けた光導波路プローブを形成した。

請求項（抜粋）：

基板部、および、装置側光導波路端面および試料側光導波路端面を有する光導波部から構成され、試料あるいは媒体に対して、近接した距離で光の照射あるいは検出を行うための光導波路プローブにおいて、上記光導波部が上記基板部上に実質的に平面的に形成され、上記基板部を上記試料あるいは媒体に対して垂直方向に配置されるべく、前記試料側光導波路端面が基板部端面に一致するか、あるいは、基板部端面から突出しているとともに、前記試料側光導波路端面の光導波路が端面部を先端として尖鋭な形に形成されていることを特徴とする光導波路プローブ。

IPC (3件)：

G01N 37/00 , G01B 11/30 , G11B 9/00

FI (4件)：

G01N 37/00 E , G01N 37/00 G , G01B 11/30 Z , G11B 9/00

引用特許：

審査官引用 (13件)

光学システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-192651 出願人：アメリカンテレフォンアンドテレグラフカムパニー
走査型近視野顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-054092 出願人：セイコー電子工業株式会社
圧電薄膜式非接触走査型力顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-120913 出願人：須賀唯知

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