振動子および物理量測定装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：細田益稔 , 青木純雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-092077
公開番号（公開出願番号）：特開2004-301552
出願日： 2003年03月28日
公開日（公表日）： 2004年10月28日
要約：

【課題】振動子に駆動振動を励振したときに検出振動部に発生する不要な振動を抑制し、これによって検出信号中のノイズを低減する。【解決手段】振動子は、駆動振動部、および少なくとも屈曲振動片に設けられた検出振動部を備えており、駆動振動部に駆動振動を励振した状態で物理量に応じて屈曲振動片に励振される検出振動に基づいて物理量を測定する。屈曲振動片が相対向する一対の表面3a、3bと一対の側面3c、3dとを備えている。一対の表面3a、3bに、それぞれ屈曲振動片の長手方向に延びる突起7A、7Bが設けられている。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

駆動振動部、および少なくとも屈曲振動片に設けられた検出振動部を備えており、前記駆動振動部に駆動振動を励振した状態で物理量に応じて前記屈曲振動片に励振される検出振動に基づいて前記物理量を測定するための振動子であって、前記屈曲振動片が相対向する一対の表面と一対の側面とを備えており、前記一対の表面に、それぞれ前記屈曲振動片の長手方向に延びる突起が設けられていることを特徴とする、振動子。

IPC (2件)：

G01C19/56 , G01P9/04

FI (2件)：

G01C19/56 , G01P9/04

Fターム (5件)：

2F105BB03 , 2F105CC01 , 2F105CC04 , 2F105CD02 , 2F105CD06

引用特許：

審査官引用 (11件)

圧電振動ジャイロ用振動子及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-327264 出願人：株式会社トーキン
角速度検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-208627 出願人：トヨタ自動車株式会社
角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-014806 出願人：京セラ株式会社

全件表示

前のページに戻る