超音波モータを備えた微動機構及び振動体保持機構

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大菅義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-016972
公開番号（公開出願番号）：特開2008-187768
出願日： 2007年01月26日
公開日（公表日）： 2008年08月14日
要約：

【課題】サブミクロンオーダの位置決めを可能にする。【解決手段】超音波モータを備えた微動機構は、固定台1と、固定台1に対して移動軸方向に移動可能に支持された移動体3と、その移動軸方向に対して平行な平面であって2つの突起部9が設けられた第1の平面と当該第1の平面に対して平行な第2の平面とを有する立体的形状をしており、高周波電圧信号の印加により複数の振動モードを励起する振動体8と、振動体8を固定台1に対して保持する保持部材5とを備え、保持部材5は、振動体8の前記第2の平面の一部と固定され、少なくとも摩擦摺動部又はゴム部材の一方を含む非線形性の高い要素を含まない高剛性材料によって一体的に構成されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

超音波モータを備えた微動機構であって、固定台と、前記固定台に対して移動軸方向に移動可能に支持された移動体と、前記移動軸方向に対して平行な平面であって複数の突起部が設けられた第1の平面と当該第1の平面に対して平行な第2の平面とを有する立体的形状をしており、高周波電圧信号の印加により複数の振動モードを励起する振動体と、前記振動体を前記固定台に対して保持する保持機構と、を備え、前記保持機構は、前記振動体の前記第2の平面の一部と固定され、少なくとも摩擦摺動部又はゴム部材の一方を含む非線形性の高い要素を含まない高剛性材料によって一体的に構成されている、ことを特徴とする微動機構。

IPC (1件)：

H02N 2/00

FI (1件)：

H02N2/00 C

Fターム (11件)：

5H680AA14 , 5H680BB02 , 5H680BB13 , 5H680BC10 , 5H680CC02 , 5H680CC06 , 5H680DD23 , 5H680DD64 , 5H680DD72 , 5H680FF08 , 5H680GG25

引用特許：

出願人引用 (3件)

顕微鏡ステージ
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-075090 出願人：オリンパス株式会社
超音波アクチュエータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-050569 出願人：オリンパス光学工業株式会社
特許第3184117号公報

審査官引用 (5件)

超音波モータ
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-069303 出願人：オリンパス株式会社
リニア駆動機構
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-300436 出願人：ファナック株式会社
超音波駆動装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-021563 出願人：オリンパス株式会社

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