銅めっき液、めっき方法並びにめっき装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡邉勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-199327
公開番号（公開出願番号）：特開2002-080992
出願日： 2001年06月29日
公開日（公表日）： 2002年03月22日
要約：

【要約】【課題】アルカリ金属やシアンを含むことなく、シード層の薄肉部を補強したり、高アスペクト比の微細窪みの内部に銅を確実に埋込む銅めっきを施すことができるようにする。【解決手段】 2価の銅イオンと、アルカリ金属及びシアンを含まない物質からなる錯化剤とを有し、必要に応じて、アルカリ金属及びシアン以外の物質からなるpH調整剤を添加した。

請求項（抜粋）：

2価の銅イオンと錯化剤とを有し、アルカリ金属及びシアンを含まない物質からなることを特徴とする銅めっき液。

IPC (5件)：

C25D 3/38 , C25D 7/12 , C25D 17/00 , H01L 21/288 , H01L 21/768

FI (6件)：

C25D 3/38 , C25D 7/12 , C25D 17/00 B , H01L 21/288 E , H01L 21/288 M , H01L 21/90 A

Fターム (49件)：

4K023AA19 , 4K023BA06 , 4K023BA12 , 4K023CA09 , 4K023CB13 , 4K023DA03 , 4K023DA07 , 4K024AA09 , 4K024BA15 , 4K024BB12 , 4K024CA01 , 4K024CA02 , 4K024CA03 , 4K024CB01 , 4K024GA16 , 4M104BB04 , 4M104BB32 , 4M104DD16 , 4M104DD37 , 4M104DD52 , 4M104DD53 , 4M104DD75 , 4M104EE09 , 4M104EE16 , 4M104FF13 , 4M104FF16 , 4M104FF22 , 4M104HH16 , 5F033HH11 , 5F033HH21 , 5F033HH32 , 5F033KK11 , 5F033KK21 , 5F033KK32 , 5F033MM02 , 5F033MM08 , 5F033MM12 , 5F033MM13 , 5F033NN06 , 5F033NN07 , 5F033PP17 , 5F033PP27 , 5F033PP28 , 5F033QQ09 , 5F033QQ37 , 5F033QQ48 , 5F033RR04 , 5F033XX01 , 5F033XX10

引用特許：

審査官引用 (5件)

基板のめっき方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-136152 出願人：株式会社荏原製作所, 荏原ユージライト株式会社
作業部材の上に金属を電解により沈着させる装置および方法
公報種別：公表公報出願番号：特願2000-536908 出願人：セミトウール・インコーポレーテツド
基板のめっき方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-136151 出願人：株式会社荏原製作所, 荏原ユージライト株式会社

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