特許

J-GLOBAL ID：200903091212255042

薄膜付基板の支持部材、薄膜付基板の収納容器、マスクブランク収納体、転写マスク収納体、及び薄膜付基板の輸送方法

発明者： 栗川 明典
出願人/特許権者： HOYA株式会社
代理人 (1件)： 大塚 武史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-284102
公開番号（公開出願番号）：特開2006-124034
出願日： 2005年09月29日
公開日（公表日）： 2006年05月18日
要約：

【課題】パーティクルなどによる発塵を十分抑制することが出来る薄膜付基板の支持部材を提供する。また、このような支持部材を備え、薄膜付基板を高い清浄度に保ちながら保管できる薄膜付基板の収納に好適な収納容器を提供する。【解決手段】マスクブランク等の薄膜付基板1を支持するための支持手段を備える支持部材2,5であって、支持手段の少なくとも薄膜付基板1と接触する部位の表面を、算術平均表面粗さ(Ra)で0.1μm以下である平滑面とした。支持手段の少なくとも薄膜付基板1と接触する部位の表面は例えば樹脂材料で構成する。薄膜付基板1を固定状態に支持する支持部材を備える収納容器において、上記支持部材2、5を用いて薄膜付基板1を支持する。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

薄膜付基板を支持するための支持手段を備える支持部材であって、 前記支持手段の少なくとも前記薄膜付基板と接触する部位の表面を、算術平均表面粗さ(Ra)で0.1μm以下である平滑面とした ことを特徴とする薄膜付基板の支持部材。

IPC (4件)：

B65D 85/86 ,  B65D 77/08 ,  B65D 25/10 ,  H01L 21/673

FI (4件)：

B65D85/38 R ,  B65D77/08 J ,  B65D25/10 ,  H01L21/68 T

Fターム (41件)：

3E062AA01 ,  3E062AB10 ,  3E062AB20 ,  3E062AC02 ,  3E062FA02 ,  3E062FB01 ,  3E062FC03 ,  3E062FC10 ,  3E067AA12 ,  3E067AB41 ,  3E067AC04 ,  3E067BA02A ,  3E067BB14A ,  3E067BC06A ,  3E067CA30 ,  3E067EA18 ,  3E067EA32 ,  3E067EB27 ,  3E067EC07 ,  3E067EC35 ,  3E067FA01 ,  3E067FC01 ,  3E067GD10 ,  3E096BA16 ,  3E096BB03 ,  3E096CA02 ,  3E096CA09 ,  3E096CB03 ,  3E096DA01 ,  3E096DB08 ,  3E096EA02X ,  3E096EA02Y ,  3E096FA03 ,  3E096GA09 ,  5F031CA05 ,  5F031CA07 ,  5F031DA08 ,  5F031EA02 ,  5F031EA06 ,  5F031NA18 ,  5F031PA30

引用特許：

出願人引用 (1件)

• マスク運搬用ケース
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-334102   出願人：アルバック成膜株式会社

審査官引用 (5件)

• ウェハ保持装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-087163   出願人：前川俊一, 双栄通商株式会社
• 磁気記録媒体用ガラス基板、磁気記録媒体、及びそれらの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-372332   出願人：HOYA株式会社
• 表面粗さ測定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-206670   出願人：富士通株式会社
• 特開昭59-113442
  
• 特開昭59-113442