特許
J-GLOBAL ID：200903091339820296
層間絶縁膜の形成方法及び層間絶縁膜用感光性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
正林 真之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-215109
公開番号（公開出願番号）：特開2008-040187
出願日： 2006年08月07日
公開日（公表日）： 2008年02月21日
要約：
【課題】汎用の現像液を使用可能な層間絶縁膜を形成する方法及び層間絶縁膜用感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】感光性樹脂組成物を塗布する塗布工程と、前記感光性樹脂組成物を露光する露光工程と、現像液で現像する現像工程と、を含む層間絶縁膜の形成方法において、層間絶縁膜用感光性樹脂組成物中のアルカリ可溶性樹脂成分(A)として、ヒドロキシフェニルアルキル(メタ)アクリレート単位を含み、アルカリ現像液として、濃度1質量%以上3質量%以下の水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液を用いる。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
基板上に感光性樹脂組成物を塗布する塗布工程と、塗布後の前記感光性樹脂組成物を選択的に露光する露光工程と、前記露光の後にアルカリ現像液で現像する現像工程と、を含む層間絶縁膜の形成方法であって、
前記感光性樹脂組成物は、下記一般式(a-1)で表される構成単位(a1)と、架橋性基を有する構成単位(a2)と、を有する共重合体(A1)を含有するアルカリ可溶性樹脂成分(A)を含み、
前記現像工程のアルカリ現像液として、濃度1質量%以上3質量%以下の水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液を用いる層間絶縁膜の形成方法。
IPC (6件)：
G03F 7/023
, G03F 7/038
, G03F 7/32
, H01L 21/312
, H01L 21/768
, H01L 23/522
G03F7/023
, G03F7/038 503
, G03F7/32
, H01L21/312 D
, H01L21/90 S
2H025AA04
, 2H025AA20
, 2H025AB13
, 2H025AB16
, 2H025AB17
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025AD03
, 2H025BE01
, 2H025CB14
, 2H025CB30
, 2H025CB41
, 2H025CB45
, 2H025FA01
, 2H025FA17
, 2H096AA25
, 2H096AA27
, 2H096BA10
, 2H096DA01
, 2H096EA02
, 2H096GA09
, 2H096JA02
, 5F033QQ74
, 5F033RR27
, 5F033SS21
, 5F058AC07
, 5F058AD08
, 5F058AF04
, 5F058AG10
, 5F058AH02
