光モジュール及びその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：谷義一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-288336
公開番号（公開出願番号）：特開2001-111157
出願日： 1999年10月08日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：

【要約】【課題】光素子の搭載部と光導波路のクラッド上部に連続して電気配線を形成する構造を有する光モジュール及びその製造方法を提供すること。【解決手段】光導波路2は、シリコン基板1上に形成した石英系光導波路であり、シリコン基板1上には、クラッド2aと光導波路コア2bからなる光導波路2が形成されていて、その光導波路2の一部を取り除いて光素子5をシリコン基板1上に搭載する搭載部4が形成されている。光導波路2の端部2cは、傾斜面に形成されているとともに、搭載部4の底面及びクラッド2aの上面に傾斜面を介して電気配線3が連続的に設けられている。傾斜面の角度は、搭載部4の底面に対して略60度である。

請求項（抜粋）：

基板上に、クラッドと光導波路コアからなる光導波路の一部を取り除いて光素子の搭載部を形成した光モジュールにおいて、前記光導波路の端部を傾斜面とするとともに、前記搭載部の底面及び前記クラッドの上面に前記傾斜面を介して電気配線を連続的に設けたことを特徴とする光モジュール。

IPC (5件)：

H01S 5/022 , G02B 6/122 , G02B 6/42 , H01L 31/0232 , H01L 33/00

FI (6件)：

H01S 5/022 , G02B 6/42 , H01L 33/00 M , H01L 33/00 N , G02B 6/12 B , H01L 31/02 C

Fターム (27件)：

2H037AA01 , 2H037BA02 , 2H037BA11 , 2H037CA00 , 2H037DA03 , 2H037DA06 , 2H047KA04 , 2H047MA07 , 2H047PA24 , 2H047QA02 , 2H047RA08 , 2H047TA05 , 2H047TA33 , 5F041AA47 , 5F041DA01 , 5F041EE25 , 5F041FF14 , 5F073AB25 , 5F073DA25 , 5F073DA30 , 5F073FA06 , 5F073FA13 , 5F073FA30 , 5F088BA15 , 5F088BB01 , 5F088JA03 , 5F088JA14

引用特許：

審査官引用 (5件)

光/電子ハイブリッド実装基板およびその製法、並びに光サブモジュールおよび光/電子ハイブリッド集積回路
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-187579 出願人：日本電信電話株式会社
ハイブリッド光電子集積用実装基板の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-201862 出願人：日本電信電話株式会社
光電子素子及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-287759 出願人：株式会社リコー

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